证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种阻抗匹配器、射频组件与等离子体处理设备”，专利申请号为CN202520210442.2，授权日为2025年3月18日。
专利摘要：本实用新型公开一种阻抗匹配器、射频组件与等离子体处理设备。阻抗匹配器包括阻抗匹配网络和控制单元，至少一台所述阻抗匹配器经由射频链路电连接于射频源与负载端之间，所述阻抗匹配网络与控制单元之间、射频源与控制单元之间、负载端与控制单元之间通过高速通信总线电连接，所述阻抗匹配网络、控制单元、射频源和负载端设置有工业以太网控制自动化技术端口和/或吉比特收发接口，以使所述高速通信总线进行高速信号传输，使延迟显著降低。
今年以来中微公司新获得专利授权36个，较去年同期增加了5.88%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。
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