北方华创申请半导体工艺设备专利,解决射频泄漏等问题

金融界 2025-03-19 11:23:05

金融界2025年3月19日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备”的专利,公开号CN119626881A,申请日期为2024年11月。

专利摘要显示,本申请公开了一种半导体工艺设备,涉及光伏、半导体领域。一种半导体工艺设备,包括:承载舟和射频隔离装置;所述承载舟包括分别作为射频电极板或接地电极板的多个加热板,所述加热板设有加热件,所述加热件的一端相对于所述加热板引出,所述加热件包括金属套;所述射频隔离装置包括第一隔离组件,所述第一隔离组件包括隔离环,所述隔离环连接于所述金属套用于阻断所述加热板中射频信号经由所述金属套传出本申请能够解决射频泄漏等问题。

天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币,实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1013次,财产线索方面有商标信息43条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可339个。

本文源自:金融界

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