金融界2025年3月20日消息,国家知识产权局信息显示,上海富乐德智能科技发展有限公司申请一项名为“一种半导体静电吸盘用自动打磨设备及其打磨方法”的专利,公开号CN119635521A,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,本发明公开了一种半导体静电吸盘用自动打磨设备及其打磨方法。一种半导体静电吸盘用自动打磨设备,包括一旋转台,旋转台装设在一水槽中,旋转台的高度低于水槽的边缘;还包括一用于固定静电吸盘的固定治具,固定治具可拆卸安装在旋转台上;还包括一抛光机器人,抛光机器人的安装底座位于水槽的外围,抛光机器人的末端法兰安装有力位补偿器,力位补偿器通过魔术贴结构与磨片相连,磨片的一侧设置有与魔术贴结构相匹配的魔术粘;还包括一磨片自动供给机构及废旧磨片自动揭取机构;废旧磨片自动揭取机构用于夹取磨片以及松开将磨片置入废片槽,废旧磨片自动揭取机构的下方设置有废片槽。本发明实现了静电吸盘的自动化研磨。
天眼查资料显示,上海富乐德智能科技发展有限公司,成立于2019年,位于上海市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3000万人民币,实缴资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海富乐德智能科技发展有限公司参与招投标项目7次,专利信息66条,此外企业还拥有行政许可19个。
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