金融界2025年3月22日消息，国家知识产权局信息显示，湖南元芯传感科技有限责任公司申请一项名为“纳米晶体管传感平台的制备方法及纳米晶体管传感平台”的专利，公开号CN119654033A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种纳米晶体管传感平台的制备方法及纳米晶体管传感平台，方法包括：在已经完成的背栅器件上附着第一光刻胶层及沉淀牺牲层，第一光刻胶层覆盖金属电极，牺牲层覆盖第一光刻胶层及沟道区域；随后去除第一光刻胶层及剥离覆盖第一光刻胶层上的牺牲层，以保留沟道内的牺牲层；在金属电极及沟道内的牺牲层上沉淀钝化层；在钝化层上附着第二光刻胶层，以露出需要刻蚀去除的区域；刻蚀对应于沟道区域及部分金属电极的钝化层；去除第二光刻胶层，去除沟道内的牺牲层。本发明在沟道区域内保留的牺牲层极大可以在后续步骤中保护沟道材料层，完美解决了传统工艺中的光刻胶残留问题，为生物传感器等应用提供了更加稳定的基础。
天眼查资料显示，湖南元芯传感科技有限责任公司，成立于2022年，位于湘潭市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本600万人民币，实缴资本250.5985万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南元芯传感科技有限责任公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息31条，此外企业还拥有行政许可1个。
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