金融界2025年3月25日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺门移动装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119665661A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种工艺门移动装置及半导体工艺设备，涉及半导体制备技术领域，所公开的工艺门移动装置包括箱体和移动机构，移动机构包括支撑部和移动部，支撑部设置在箱体中，移动部与支撑部滑动连接，箱体的侧壁设有缺口，移动部可沿缺口的长度延伸方向移动，以带动箱体外部的待传输部件执行相应的动作。通过设置箱体，移动机构在运行过程中所产生的摩擦碎屑、润滑脂挥发颗粒等污染物能够被一定程度地约束在箱体中，从而降低了污染物扩散至箱体外部并对晶圆所在区域造成污染的概率。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1014次，财产线索方面有商标信息43条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
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