金融界2025年3月26日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市力源海纳能源有限公司申请一项名为“一种等离子体产生的控制电路、控制方法及产生方法”的专利，公开号CN119675405A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，本发明涉及一种等离子体产生的控制电路、控制方法及产生方法，基于气体放电规律，利用溅射镀膜电源已有的电压和电流探测器，无需另外增加元器件，即可产生溅射镀膜工艺所需的等离子体。在输出电流和功率分别超过设定的电流阈值和功率阈值时判定等离子体的产生，判定结果准确率高。避免启辉阶段靶材局部微小区域弧光放电时的误判，保证启辉、靶材清洗工艺和溅射镀膜工艺的正常进行。在连续多次启辉失败次数超过失败阈值时能够关闭启辉电路，并报错通知用户更改有关工艺参数，优化相关工艺。正常溅射镀膜过程出现突发情况造成等离子体熄灭，自动重新启动启辉电路，使等离子体再次迅速产生，快速恢复到等离子体熄灭前的溅射镀膜工况，保证镀膜质量。
天眼查资料显示，深圳市力源海纳能源有限公司，成立于2018年，位于深圳市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币，实缴资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市力源海纳能源有限公司参与招投标项目4次，专利信息21条，此外企业还拥有行政许可8个。
本文源自：金融界
