金融界2025年3月28日消息，国家知识产权局信息显示，浙江芯微泰克半导体有限公司申请一项名为“管式炉的变形检测方法、变形检测组件及变形检测系统”的专利，公开号CN119687820A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请实施例公开了一种管式炉的变形检测方法、变形检测组件及变形检测系统。该方法通过对变形检测组件中的出光器件进行调整，以使得出光器件发出的照射光从管式炉的第一端处射入至管式炉的内腔中，并在管式炉的内腔壁处反射至管式炉的第二端的预设位置处，同时控制出光器件沿管式炉的圆周方向移动至少一次，以获取照射光每次在第二端处的第一停留位置，最后根据预设位置和第一停留位置，便可以准确的知晓管式炉是否发生变形，进而可以避免出现晶圆无法顺利从管内取出。
天眼查资料显示，浙江芯微泰克半导体有限公司，成立于2022年，位于丽水市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5833.3333万人民币，实缴资本3833.3333万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江芯微泰克半导体有限公司参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息5条，此外企业还拥有行政许可6个。
本文源自：金融界
