金融界2025年3月29日消息，国家知识产权局信息显示，武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司申请一项名为“一种晶圆加工中测高曲线自适应滤波的方法”的专利，公开号CN119694883A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆加工中测高曲线自适应滤波的方法，属于晶圆隐形切割技术领域。本发明先利用限幅滤波进行预处理，使数据表中的测高数据在设置的压电电机的补偿上下限之间，可以将晶圆断层以外的数据控制在压电电机的补偿上下限内，使整体的测高曲线平滑，压电在断层处的补偿波动小；然后再利用二次滤波对数据表中的数据进行二次的筛选处理，将数据表中异常变化的数据剔除，加工时可使压电电机在调节时始终将激光控制在晶圆表面下的固定深度，提高切割截面的直线度，明显改善晶圆切割效果。
天眼查资料显示，武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司，成立于2014年，位于武汉市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本75000万人民币，实缴资本75000万人民币。通过天眼查大数据分析，武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目177次，专利信息239条，此外企业还拥有行政许可34个。
本文源自：金融界
