金融界2025年3月29日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种等离子体约束装置及其等离子体处理装置”的专利，公开号CN119694870A，申请日期为2023年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种等离子体约束装置及其等离子体处理装置，所述等离子体约束装置设置于真空反应腔的腔体侧壁和下电极组件之间，所述等离子体约束装置包含上约束环和位于所述上约束环下方的下约束环，所述上约束环包含多个环绕所述下电极组件的第一间隔件，所述下约束环包含多个环绕所述下电极组件的第二间隔件，各个所述第一间隔件和各个所述第二间隔件交错排列，所述第一间隔件和与其相邻的所述第二间隔件之间形成气体通道。其优点是：该等离子体约束装置通过上约束环和下约束环的交错组合，在保证对等离子体具有足够约束能力的同时，还可减小对气流的阻碍作用，进而提高反应腔流导，有助于实现各工艺条件的协同最优调节。
天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本62236.3735万人民币，实缴资本61927.9423万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目65次，财产线索方面有商标信息73条，专利信息1478条，此外企业还拥有行政许可71个。
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