FEI公司申请多极元件和包括这种多极元件的带电粒子显微镜系统专利,提供多种多极元件示例

金融界 2025-04-02 15:25:11

金融界2025年4月2日消息,国家知识产权局信息显示,FEI公司申请一项名为“多极元件和包括这种多极元件的带电粒子显微镜系统”的专利,公开号CN119742212A,申请日期为2024年9月。

专利摘要显示,本文提供了多极元件和包括这种多极元件的带电粒子显微镜系统。在一个示例中,一种装置可包括多个电极,该多个电极包括第一形状子集和第二形状子集。该第一形状子集中的每个电极包括电极活性表面,该电极活性表面的形状不同于该第二形状子集中的每个电极的形状。在另一个示例中,一种装置可包括多个电极,该多个电极包括第一侧子集和第二侧子集。每个电极包括沿着第一侧向方向或第二侧向方向延伸的电极延伸部在另个示例中种装置可包括具有多个多极元件的光柱,该多个多极元件完全容纳在第一角度包络内,该第一角度包络对向至多50度的第一角度,而工作距离为至多10mm。

本文源自:金融界

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