北方华创取得复合坩埚以及晶体生长设备专利,能够减少制备出的晶体中碳杂质含量

金融界 2025-04-09 13:27:38

金融界2025年4月9日消息,国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“复合坩埚以及晶体生长设备”的专利,授权公告号CN222729954U,申请日期为2024年2月。

专利摘要显示,本实用新型提供一种复合坩埚以及晶体生长设备,其中,复合坩埚包括石墨坩埚主体和钽箔层;石墨坩埚主体包括底壁和侧壁,侧壁的下缘与底壁的边缘密封连接,以与底壁共同围成一个用于进行晶体生长工艺的生长腔体;钽箔层,包括至少一层钽箔片;至少一层钽箔片覆盖在底壁的上表面上和侧壁的内周面上,用以将底壁和侧壁与生长腔体隔绝,以能够减少制备出的晶体中碳杂质含量;而由于钽箔片较薄,因此可以实现在保证石墨坩埚主体的内表面完全被覆盖的情况下,所用钽材料较少,从而能够降低复合坩埚的制造成本。

天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币,实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目1010次,财产线索方面有商标信息45条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可339个。

本文源自:金融界

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