金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“半导体工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN222734924U，申请日期为2024年2月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种半导体工艺腔室及半导体工艺设备，半导体工艺腔室包括腔室本体、介质窗、射频线圈、第一测距部件和调节组件，介质窗设置在腔室本体的顶部；射频线圈设置在腔室本体外，并位于介质窗的上方；第一测距部件与射频线圈配合并朝向介质窗设置，用于检测射频线圈与介质窗之间多个位置的第一间距；调节组件与射频线圈配合设置，用于根据第一间距，来调节射频线圈与介质窗的平行度。本实用新型提供的半导体工艺腔室及半导体工艺设备，能够对静电卡盘与射频线圈的平行度进行检测并调节，从而能够改善静电卡盘与射频线圈的平行度，进而能够改善晶圆的刻蚀均匀性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1011次，财产线索方面有商标信息45条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
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