金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“加热装置和半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN222734938U，申请日期为2024年2月。
专利摘要显示，本实用新型公开一种加热装置和半导体工艺设备，所公开的加热装置包括第一保温部、第二保温部和加热组件；所述第一保温部为筒状结构件，所述第二保温部与所述第一保温部的端部连接，以围成一端开口的加热内腔，所述加热组件包括第一加热件和第二加热件，所述第一加热件设于所述第一保温部，所述第二加热件设于所述第二保温部。上述方案可以解决相关技术中的反应腔室在顶壁的位置处散热过快，从而使得反应腔室的温度分布一致性较差，进而影响半导体片材工艺后的性能的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1011次，财产线索方面有商标信息45条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
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