金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“半导体工艺设备及其下电极组件”的专利，授权公告号CN222734923U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本申请提供一种半导体工艺设备及其下电极组件，下电极组件包括热包括热边缘环和聚焦环，其中，聚焦环具有沿内圈设置的支撑槽，支撑槽的槽底用于支撑晶圆，热边缘环位于聚焦环的下方，热边缘环的环宽与支撑槽的槽底和槽口在聚焦环轴向上的间距之比大于等于4.5，且小于等于12。本申请通过支撑槽的侧壁高度越高，晶圆边缘的上方向远离晶圆中心的方向移动的等离子体数量越少，热边缘环能够改变晶圆边缘的上方等离子体运动方向的分布情况。支撑槽和热边缘环配合调整晶圆边缘的上方等离子体的运动方向，能够提高晶圆边缘位置和中心位置的刻蚀速率的一致性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1011次，财产线索方面有商标信息45条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
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