芯联集成电路申请晶圆边缘处理装置专利,简化晶圆处理过程

金融界 2025-04-10 19:28:11

金融界2025年4月10日消息,国家知识产权局信息显示,芯联集成电路制造股份有限公司申请一项名为“晶圆边缘处理装置”的专利,公开号CN119786427A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体制造技术领域,提供了一种晶圆边缘处理装置,包括:姿态调整单元和执行单元;所述姿态调整单元用于支撑于晶圆的外周并驱使所述晶圆自转;所述执行单元设置于所述姿态调整单元,用于在所述晶圆自转时对所述晶圆的边缘操作。该装置支撑于晶圆的外周并可驱动晶圆自转,在晶圆自转过程中可对晶圆的边缘进行处理,简化晶圆处理过程,且也可避免人工接触对晶圆的污染。

天眼查资料显示,芯联集成电路制造股份有限公司,成立于2018年,位于绍兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本704664.1万人民币,实缴资本702180万人民币。通过天眼查大数据分析,芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了17家企业,参与招投标项目1698次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息693条,此外企业还拥有行政许可40个。

本文源自:金融界

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