金融界2025年4月11日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司申请一项名为“一种射频加热棒及半导体生产设备”的专利，公开号CN119789256A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明提供一种射频加热棒及半导体生产设备，射频加热棒包括主体，主体包括加热部和冷却部，加热部的两端分别与加热盘和冷却部连接，冷却部的内部设有冷水通道及由冷却部外表面贯通至冷水通道的进水口和出水口，冷水通道沿冷却部的高度方向延伸设置；其中，冷水由进水口进入冷水通道并沿冷水通道的延伸方向流动至出水口排出。本申请的射频加热棒包括加热部和冷却部，加热部连接加热盘和冷却部，通过进水口朝冷水通道通入冷水并使冷水在冷却通道内流动直至从出水口排出，使冷水沿冷水通道对冷却部进行吸热降温，以避免射频加热棒的温度过高，导致射频加热棒出现烧蚀的现象，影响设备运行；同时冷却部与加热盘间隔设置，避免影响加热盘的加热效果。
天眼查资料显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司，成立于2023年，位于沈阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本50000万人民币，实缴资本36168.02万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息276条，此外企业还拥有行政许可10个。
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