金融界2025年4月16日消息，国家知识产权局信息显示，华羿微电子股份有限公司申请一项名为“一种蒸发设备中镍锭状态稳定的控制方法”的专利，公开号CN119824375A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本发明公开了一种蒸发设备中镍锭状态稳定的控制方法，包括蒸发源量的控制：保持坩埚内蒸发源液面靠近坩埚口，并在蒸发过程中保持液面高度稳定；坩埚洁净度控制：对坩埚定期清洁，杜绝杂质污染；蒸发源形貌控制包括熔源、束斑调整、工艺参数调整等步骤。本申请公开的源锭控制方法，从工艺参数，到电子束斑管控，再到源锭形态控制以及坩埚维护方式各个方面进行改善，从根本上将源锭状态控制稳定，将溅源异常发生概率无限降低。减少因源锭异常导致的溅源报废或返工异常，提升产品良率。减少因源锭状态异常需要停机熔源，提高设备利用率。
天眼查资料显示，华羿微电子股份有限公司，成立于2017年，位于西安市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41509.5832万人民币。通过天眼查大数据分析，华羿微电子股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目27次，财产线索方面有商标信息18条，专利信息204条，此外企业还拥有行政许可30个。
本文源自：金融界
