金融界2025年4月16日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种自润滑涂层及其应用的进气结构与等离子体处理装置”的专利，公开号CN119824392A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种自润滑涂层及其应用的进气结构与等离子体处理装置，自润滑涂层用于等离子体处理装置的进气结构中，所述进气结构具有能够相对运动的主体结构及运动结构，所述自润滑涂层能够涂覆于所述主体结构及所述运动结构的接触面上。所述自润滑涂层的粗糙度低、摩擦系数小，因而所述自润滑涂层在所述主体结构及所述运动结构相对运动时的摩擦损伤小；所述自润滑涂层成分主要为碳元素，所述自润滑涂层因摩擦产生的颗粒能够在等离子体中气化。本发明提供的用于等离子体处理装置的进气结构的自润滑涂层，能够确保进气结构工作过程稳定，不会对等离子体处理过程产生颗粒污染。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目215次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息422条，此外企业还拥有行政许可14个。
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