金融界2025年4月17日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种喷气结构和等离子体刻蚀机”的专利，公开号CN119833380A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种喷气结构和等离子体刻蚀机。该喷气结构包括进气管套，能够与气源导通；喷气件，与进气管套可拆卸连接，且喷气件与进气管套连接后形成容纳空间；气路切换件，可动设置于容纳空间内；其中，气路切换件设有气体通孔组，喷气件设有喷气孔组，气体通孔组和喷气孔组的数量均为多组，且每组喷气孔组均对应一组气体通孔组，每组喷气孔组的喷射方向不同，基于气路切换件的可动设置，喷气孔组与其所对应的气体通孔组的导通能够切换至另喷气孔组与另气体通孔组的导通该喷气结构能实现多个方向喷气，随着气路切换件的持续性运动，该喷气结构还能实现多个方向的周期性喷气，提高等离子体浓度均匀性，使等离子体刻蚀的均一性得到改善。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目215次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息422条，此外企业还拥有行政许可14个。
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