金融界2025年4月17日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“双频直驱电感耦合等离子体源”的专利，公开号CN119833382A，申请日期为2020年4月。
专利摘要显示，一种用于向衬底处理系统提供RF功率的直驱系统包括直驱外壳，该直驱外壳包括：第一直驱电路，其位于所述直驱外壳中并以第一频率运行；和第一连接器，其连接所述第一直驱电路。接线盒布置成与所述直驱外壳相邻，并且包括：第一电容电路，其连接所述第一直驱电路第二连接器其位于所述接线盒的侧与所述第电容电路的一端子连接，并与所述直驱外壳的所述第一连接器配合；第三和第四连接器，其连接所述第一电容电路的另一端子；以及靠近所述接线盒布置的线圈外壳，其包括第一线圈和第二线圈；以及第五和第六连接器，其与所述接线盒的所述第三和第四连接器配合。
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