金融界2025年4月18日消息，国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“6893.等离子体约束组件及等离子体处理装置”的专利，公开号CN119811971A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，本发明提供一种等离子体约束组件及等离子体处理装置。所述等离子体约束组件包括：约束环，包括层叠的上环和下环，所述上环设置有第一排气通道，所述下环设置有第二排气通道，所述第一排气通道与所述第二排气通道流体连通，所述上环采用含硅的材质制成，所述下环采用铝合金材质制成；中间接地环，设置在所述约束环下方，与所述下环电连接。本发明用于解决等离子体约束环上陶瓷涂层寿命不足，需要频繁更换约束环导致的成本较高的问题，还可以使约束环具有较大的气导率。
天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本62236.3735万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目64次，财产线索方面有商标信息73条，专利信息1491条，此外企业还拥有行政许可71个。
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