金融界2025年4月18日消息，国家知识产权局信息显示，上海稷以科技有限公司申请一项名为“9140.等离子体源-自由基源自由切换的腔体及工艺”的专利，公开号CN119811973A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明提出了一种等离子体源‑自由基源自由切换的腔体及工艺，该腔体包括：上筒体，用于产生等离子体和自由基，其上设置射频线圈一和进气口一，其底面敞开并设置于下盖板；下盖板设置于下筒体的敞开端；等离子体过滤器，设置于下盖板，用于过滤上筒体内产生的等离子体；下筒体，用于产生等离子体或者接收自由基，其上设置射频线圈二，其内设置基座，基座上放置晶圆，其顶面敞开以形成敞开端。本发明可提供自由基和等离子体两种模式，且可以自由切换。
天眼查资料显示，上海稷以科技有限公司，成立于2015年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本475.5886万人民币。通过天眼查大数据分析，上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目84次，财产线索方面有商标信息35条，专利信息110条，此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自：金融界
