金融界2025年4月19日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“338.用于RF等离子体工具中的多级脉冲的系统和方法”的专利，公开号CN119852156A，申请日期为2020年4月。
专利摘要显示，描述了多级脉冲的系统和方法。所述系统和方法包含产生四或更多个状态。在所述四或更多个状态中的每一者期间，射频(RF)产生器产生RF信号。所述RF信号具有四或更多个功率电平，且所述四或更多个功率电平的每一者对应于所述四或更多个状态。所述多级脉冲促进处理衬底方面的更精细的控制。
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