金融界2025年4月21日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“9935.用于环形等离子体生成的方法和设备”的专利，公开号CN119856244A，申请日期为2023年9月。
专利摘要显示，用于在处理腔室中形成等离子体的方法和设备使用环形激发器，环形激发器由第一导电材料形成，环形激发器具有电连接到提供RF电流的RF功率源的第一端和连接到接地的第二端；和环形施加器，环形施加器与环形激发器物理分离，环形施加器由第二导电材料形成，第二导电材料具有至少一个角缝，角缝具有形成由高K介电材料分隔的上重叠部分和下重叠部分的角度，高K介电材料被配置为连同环形施加器的电感提供电容以形成谐振电路，谐振电路被配置成当环形激发器流动RF电流时谐振，RF电流感应地激发环形施加器至谐振频率，谐振频率从环形施加器形成方位角等离子体。
本文源自：金融界
