在扫描电子显微镜（SEM）的应用中，电子背散射衍射（EBSD）技术已经成为金属学、陶瓷学以及地质学研究者分析材料微观结构和织构的关键工具。随着EBSD系统的不断进步，特别是在自动化图案分析、电子束和样品台的精确操控方面的提升，对样品表面的线扫描或面扫描过程变得更加迅速和自动化。

利用这些技术，可以从采集到的数据中迅速生成取向成像图（OIM）、极图和反极图，并计算出取向差异分布函数。这使得研究者能够在较短的时间内收集到大量的晶体学信息，这些信息覆盖了样品的多个方面，包括但不限于：织构和取向差异的分析、晶粒大小和形态的分布特征、晶界特性的探究、 亚晶粒和孪晶界面的性质、 应变和再结晶过程的分析、 相的识别、相比例的计算。

EBSD之所以能够在材料科学研究中得到如此广泛的应用，是因为它能够提供这些深入且丰富的晶体学数据，极大地促进了对材料特性和行为的理解。金鉴实验室拥有扫描电镜（SEM）四台、扫描超声波仪(C-SAM)两台、双束聚焦离子束显微镜(FIB-SEM)、X射线透视仪(XRD)、氩离子切割抛光仪、显微红外光谱(Micro-FTIR)、全套的热分析（TGA、TMA和DSC）、显微红外热像仪等大型精密贵重分析仪器设备，提供全面的材料分析解决方案，可以满足对材料特性全面了解的需求。

相鉴定及相比计算

不同的物相具有不同的晶体结构，其背散射电子衍射花样必然存在一定差别。根据其衍射花样的特征及标定结果，很容易确定其物相。在采用取向成像技术可实现选择物相成像，在图像中能清晰地显示相的分布，并能计算出相的相对含量。

就目前来说，相鉴定是指根据固体的晶体结构来对其物理上的区别进行分类。EBSD发展成为进行相鉴定的工具，其应用还不如取向关系测量那样广泛，但是应用于这方面的技术潜力很大，特别是与化学分析相结合，已经用EBSD鉴定了某些矿物和一些复杂相。

EBSD技术的一项重要优势在于其区分化学成分相似但晶体结构不同的材料相的能力。在扫描电子显微镜（SEM）中，仅凭能谱成分分析往往难以区分某些元素的氧化物、碳化物或氮化物。然而，EBSD技术能够通过分析晶体学关系来明确区分这些相。

例如，M7C3和M3C相（其中M通常代表铬）能够从共存的合金中被鉴别出来。由于它们分别属于六方晶系和四方晶系，它们的电子背散射衍射图案（EBSP）呈现出明显的差异。同样，EBSD技术也被用于区分赤铁矿、磁铁矿和方铁矿等矿物。

EBSD的另一个简单而实用的应用是区分铁的体心立方（BCC）和面心立方（FCC）结构，这在实际工作中非常常见。这种区分对于仅通过化学分析方法是无法实现的，例如在钢材料中区分铁素体和奥氏体。通过EBSD技术，不仅可以进行相鉴定，还可以绘制取向成像图（OIM），并在此基础上方便地计算多相材料中各相的百分比含量。

EBSD技术之所以在材料科学领域受到青睐，是因为它提供了一种直接、有效的方法来识别和量化材料中的不同相，这对于理解材料的性能和行为至关重要。