化学气相合成石英玻璃，是采用化学气相沉积法（CVD）合成石英玻璃的技术，产品为高纯度合成石英玻璃。

　　石英玻璃可以采用纯净天然石英高温熔化法，或者化学气相沉积法进行制备，主要成分为二氧化硅，具有硬度大、耐腐蚀、耐高温、热膨胀系数小、抗热震性好、光谱透射率高等优点，可用于工业与科研领域，用来制造各种熔炼、提炼设备，也可用来制造半导体、激光器、电光源、光导纤维、光学仪器等，还可用于航天、原子能、国防等领域。预计2025年，全球石英玻璃市场规模将达到41.7亿美元。

　　高纯度合成石英玻璃具有高透明度、高物理化学稳定性，可以应用在半导体、通信、光学、科研等领域，用来制造光学透镜、光学窗口、光导纤维、光学仪器等。高纯度合成石英玻璃通常采用化学气相沉积法进行制备，即化学气相合成石英玻璃，其制备过程是，将硅源气体通入反应室，利用高温热解法使硅原子沉积在基底上，形成石英玻璃，可以采用的硅源气体主要有硅烷、四氯化硅等。

　　根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国化学气相合成石英玻璃行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，化学气相合成石英玻璃可制备大尺寸高纯度合成石英玻璃，下游应用主要集中在高技术产业中。在半导体领域，化学气相合成石英玻璃可用于蚀刻、扩散、氧化等工序，也可用来制造光掩膜版；在光学领域，化学气相合成石英玻璃可用于透镜、棱镜、激光器等制造方面；在通信领域，化学气相合成石英玻璃可制造光纤预制棒等。

　　我国于20世纪50年代中期开始研制石英玻璃，之后技术、产品不断升级迭代，发展到2001年，我国首个立式化学气相沉积法高纯度合成石英玻璃研制成功，直径达到320毫米。

　　我国化学气相合成石英玻璃代表性研究机构主要是中国建筑材料科学研究总院有限公司，于1956年接受《1956-1967年科学技术发展远景规划》中石英玻璃的研制任务，1957年研制出国内首块不透明石英玻璃，1958年研制出国内首块透明石英玻璃，1993年研制出耐辐照石英玻璃，国内首个立式化学气相沉积法高纯度合成石英玻璃也由其研制。

　　新思界行业分析人士表示，我国政府对化学气相合成石英玻璃行业发展关注度还在提高，新版《产业结构调整指导目录（2024年本）》鼓励类项目中包括化学气相合成石英玻璃等制造技术开发与生产。我国化学气相合成石英玻璃生产商主要有湖北菲利华石英玻璃股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司等。