“一旦中国大陆进攻台湾,阿斯麦和台积电有能力瘫痪制造芯片的机器。”彭博社5月21日援引两名消息人士的话称,有美国官员就大陆攻台的后果私下向荷兰和中国台湾官员表达担忧。不过,光刻机制造商阿斯麦(ASML)向荷兰官员保证,可以远程瘫痪(remotely disable)相应机器,包括最先进的极紫外光刻机(EUV)。
显然,大漂亮还是担心我国收复台湾时顺带控制台湾本土的台积电先进光刻机设备,特别是第五代光刻机EUV。
那么我国该如何应对呢?2023年11月份,ASML全球副总裁、中国区总裁沈波在访谈中表示,到2023年底,ASML在中国的光刻机加上量测的机台装机量接近1400台。
这其中很多光刻机都需要联网,登录服务器才能启动,否则无法工作。即便不需要联网,也可能存在隐藏的后门,必要时可通过卫星信号激活。
这么多光刻机要是被远程遥控瘫痪,那将重创我国整个半导体产业。因此我国必须认真研究对策,确保非常时期这些光刻机仍然能用。在此提出两点建议:
1、分批次推广光刻机改装技术,避免非常时期受制于人。
去年8月29日麒麟9000S突然随Mate60系列曝光,随后华为设计的各式处理器不断涌现,这些处理器怎么来的?大漂亮至今仍然搞不清楚。有人透露是基于进口光刻机魔改。这说明我们有办法保证不被外国获悉我国大陆地区光刻机位置、工作状态。为避免非常时期现有进口光刻机受制于人,有必要分批次全面推广华为魔改光刻机的技术。
2、加快国产光刻机量产速度。
2022年3月18日,中科院微电子研究所在官方网站发布了《2021年年鉴》,文中提到:完成28nm浸没光刻机曝光光源10mJ@4KHz工程样机交付整机使用及15mJ@6KHz原理样机研制。
对光刻机稍微有点了解的网友都知道,这款光刻机就是DUVi光刻机,如果双工件台套刻精度足够高,那就能用于量产5纳米处理器。
2021年造出DUVi工程样机,经过2年多的产线测试,也该开始定型量产了!虽然初期可能会因为技术成熟度较低而导致良率不高的问题,但随着不断迭代改进,很快就能发展完善。
此外,国产极紫外光刻机整机(EUV)已经完成整机集成。
2023年4月7日公布的“吉林省科学技术奖提名项目”就有大量EUV关键技术项目获奖。这说明EUV整机已经完成集成。大漂亮想通过禁止ASML出口极紫外光刻机给我国来限制我国制程工艺进一步发展,那是痴人说梦!大量相关技术专利也说明我国的极紫外光刻机三大关键技术(光源、反射镜、双工件台)均突破,造出可用的原型机只是时间问题。“中国速度”向来让世界出乎意料,相信很快就会有好消息的。
这件事也说明,西方国家的产品不可靠,很可能有后门,非常时期对方可能会激活后门导致设备被瘫痪或者不受控制。