2023年12月,荷兰阿斯麦ASML的第一台2nm光刻机交付给了英特尔Intel。
这是全球首台高数值孔径(High-NA)的光刻机,主要技术革新在于实现了更大的数值孔径。
所谓数值孔径,指的是用来衡量光学系统能够收集的光的角度范围。
通过增大数值孔径,可以实现更小的分辨率和更高的分辨能力,从而满足微细加工的要求。
简单来说,数值孔径越大则分辨率越佳。
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据悉,这台光刻机采用蔡司生产的0.55 NA 的镜头,能够实现8nm级别的分辨率,而标准EUV 使用0.33 NA 的镜头,实现分辨率水平为13nm。
这么说吧,谁家要是拥有它,那么制造2nm及以下节点芯片,是丝毫没有任何压力。