台积电德勒斯登晶圆厂动土典礼获高度关注，部分德国媒体质疑德国政府对国际半导体厂的巨额补贴，得不到同等回报。 许多专家则认为半导体产业攸关德国未来竞争力，如总理朔尔茨在动土仪式致词时所回应的「（补贴）合理且必要」。

台积电与博世、英飞凌和恩智浦合资成立的欧洲半导体制造公司（ESMC “欧积电”）晶圆厂启动建设，预计2027年开始投入生产，此案总投资额逾100亿欧元，当中50亿欧元来自德国政府补贴。

德国政府能拿出大笔预算补贴台积电德勒斯登厂，主要得益于去年9月正式生效的欧盟欧洲芯片法案（European Chips Act），该法案放宽政府补贴芯片产业的严格限制，允许各国政府提供更多财政支持，促进国家半导体产业发展。

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然而，部分经济学家与竞争对手对德国政府对ESMC提供高额补贴表达了质疑。

经研机构慕尼黑衣佛研究所（Ifo Institute）所长Clemens Fuest受《明镜周刊》（Der Spiegel）采访时指出，台积电的德勒斯登厂主要从事生产而非研发，表示德国在技术创新和高附加值方面的收获有限，对半导体巨头的高额补贴将得不到同等回报。

德国执政联盟近期对2025年的预算分配仍旧争论不休，菲斯特建议应将财政预算投入到基础设施、教育和医疗等领域，而不是砸大钱吸引外国企业在德国设厂。

此外，全球第3大晶圆代工厂格罗方德（GlobalFoundries）也表达对德国政府50亿欧元补贴台积电强烈不满。

总裁兼执行长柯斐德（Thomas Caulfield）对《商报》（Handelsblatt）说，补贴政策扭曲市场造成竞争不公，因为台积电已经是晶圆代工龙头，补贴将使竞争者更难与之匹敌。

他强调，格罗方德在德国半导体制造已经深耕了超过四分之一世纪，萨克森硅谷之所以能成为德国芯片生产聚落，离不开格罗方德的贡献，高额补贴ESMC对已在德勒斯登深耕多年的企业不公平。

产业专家则持不同看法，认为半导体产业攸关德国未来竞争力，补贴如总理朔尔茨（Olaf Scholz）在动土仪式致词所回应的「合理且必要」。

尽管质疑声音不断，许多产业专家和政府官员仍坚信，对ESMC的补贴对德国的长远发展至关重要。

柏林智库Interface科技政策专家克莱汉斯（Jan-Peter Kleinhans）告诉《明镜周刊》，在通过芯片法案后，美国已向该产业注入了近390亿美元的国家资金，认为「德国一定要想清楚，在全球芯片产业中应该扮演的角色」，肯定当前联合内阁将半导体发展定为国家策略。

日前德国总理朔尔茨于ESMC晶圆厂动土致词时，特别提出多点说明回应质疑声浪。 他表示，半导体产业会成为德国经济和技术发展的基石，补贴全球领先的台积电在德国设厂合理且必要，强调「没有半导体，德国就失去了未来」。