我们离打破ASML的高端光刻机垄断还有多远？想要生产芯片，光刻机是关键。目前只有荷兰的ASML掌握最先进的光刻机技术。而我国受美国影响，至今无法获得ASML的高端光刻机。所以只剩下一条路，就是我们自己造。有人说给我们图纸，我们也造不出高端光刻机。事实真是如此吗？一台光刻机的核心技术无非就是光源、镜头和双工作台三大块。ASML的光刻机之所以牛，是因为光源技术来自美国企业，镜头来自德国蔡司，相当于集多国的尖端科技之大成。但这并不表示我们就没有办法。目前，双工作台已经被我们拿下。中国华卓精密生产的光刻机核心子系统双工件台，一举打破ASML的技术垄断，成为继ASML之后全球第二个掌握双工件台核心技术的公司。而在光源方面，在中科院的不懈努力下，纯国产高能光源已经研发成功。它不仅是国内第一台高能量同步辐射光源，更是全球最亮的第四代同步辐射光源之一。除此之外，由南京大学陆海和张荣教授团队研发的宽禁带半导体pn结型EUV探测器，也获得了世界领先。而探测器正是组成EUV光刻机的重要零部件。由此可见，我国的光刻机技术，正在突飞猛进的发展之中，相信要不了多久就会取得突破。谁说我们造不出EUV光刻机？光刻机是人造的又不是神造的，国外可以我们当然也可以！