“断供华为芯片将打开潘多拉魔盒”，这是美断供华为之前，华为前轮值董事长徐直军发出的警告。但老美不顾本土企业的生死存亡，毅然决然断供了华为的芯片代工业务，高通、美光、英特尔等美芯片巨头利润暴跌，也没有阻挡老美对中企发动的这场“科技战”。不少人认为，老美已进入一种“病态”！

当我国在芯片产能、工艺方面稍有成就后，美国又联合日本、荷兰三方达成了一份协议，旨在联合国外所有能生产光刻机的企业，限制DUV光刻机的自由出货。或许忌惮中国市场，荷兰、日本要么选择沉默，要么表示会以温和的方式实施限制。所以不少分析人士认为：三方协议很可能会成为一张废纸，最终难以落地！但我们似乎低估了这种“病态”，也低估了这份三方协议！

日本、荷兰做出选择

据报道，日本率先透露了关于这份“三方协议”中的相关限制内容，并且计划在春季修改法令，限制出口先进半导体所需要的设备，而且日本相关专家还表示，新规很可能会限制日本光刻机企业向中国派遣人力资源，并且停止对之前售出产品的维修等售后工作。随后，荷兰传出消息，荷兰将和老美一起实施先进芯片制造设备的出口管制，而理由就是为了“国家安全”，据悉新规预计2023年夏季之前出台。

也就是说，针对“三方协议”，日本、荷兰最终还是做出了选择，一些外媒也表示：一切几乎已尘埃落定！那到底会影响哪部分设备呢？

ASML第一时间发表声明

针对此事，ASML第一时间通过官网发表了声明，明确指出新的规定涉及的设备为先进的芯片制造设备。而且ASML还表示，需要重新申请许可，才能出口最先进的浸没式DUV光刻机，不过新规并非针对所有的浸没式光刻机，而是针对“最先进的”。什么意思呢？

ASML的浸没式光刻机主要有3个型号，TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i 和TWINSCAN NXT:1980Di。TWINSCAN NXT:2000i和之后的型号将会受到限制，即便重新申请许可，也基本没戏！但不影响1980Di的正常出货。这意味着什么呢？

据ASML介绍，1980Di 的分辨率达到≤38nm，每小时可以生产275片晶圆，不过，虽然分辨率仅为38nm，但多重曝光之下，还可以支持7nm左右，台积电第一代7nm工艺芯片就是通过1980Di实现的。只不过过程更为复杂、成本也更高，良品率也会打折扣，但是用于生产14nm工艺芯片，还是绰绰有余！三方协议所限制的2000i及2050i，主要是为EUV混合使用而设计。

简单来说，ASML的表态也意味着并不影响与中芯国际等国内晶圆厂之间的合作，只是无法出货最先进的DUV光刻机。这也是为什么ASML此前透露，2023年及未来的营收不会受到太多影响，这点来看和新规对应上了。而针对ASML的出货范围调整，中芯国际在接受记者提问时也做出了回应称：目前公司运营正常，并未收到相关通知，毕竟1980Di并不影响中芯国际生产14nm芯片。

而针对此事，一些外媒表示：三方协议对中国生产14nm工艺芯片并不影响，我们到底制裁了什么？

为什么只有1980Di型号？其实大家心里都有一个答案，因为这或许是ASML在大陆仅剩的市场空间。我国自主研发的90nm光刻机3次曝光下可以达到22nm左右的水平，虽然是90nm光刻机的极限，但已经能够满足28nm大部分成熟工艺芯片市场的需求。尤其当上海微电子的28nm精度光刻机已经到了最后的攻坚阶段，如果所有DUV光刻机无法进入大陆市场，今后可能再无ASML的立足之地。

所以，老美在遏制我国半导体产业的同时，还留了一个强大的竞争对手，试图通过抑制市场来延缓中企对光刻机的研发力度。所以我们要认清现实，加强对光刻机的研发力度，更要充分发挥市场在科技孵化中的作用！

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