图为客户要求测量高度公差和平面度公差的产品，高度公差要求不大于0.05mm，平面度公差要求不大于0.02mm。

图1 产品建模图

根据客户产品要求，我们决定采用：普通型气动传感器结合综合测量仪进行测量。

图2 测量方案示意图

采用5对传感器进行测量，传感器编号1到10，每个传感器位移量为T1-T10

各点高度公差计算如下：

M1=T1+T6

M2=T2+T7

M3=T3+T8

M4=T4+T9

M5=T5+T10

平面度公差计算如下:

MAX（M1..M5) - MIN（M1..M5)

图3 气动传感器测量高度和平面度公差示意图

1.采用多点位测量，可同时测量出产品高度公差和端面平面度公差

2.可以增设微调滑台，方便校准时使用；

3.可采用导向挡板和导向柱，防止工件摆放时偏移，防止工件碰撞传感器。

图4 公差测量工装示意图

本次测量方案中应用到的产品为气动传感器与MD综合测量仪。普通型气动传感器，有效量程：±5mm，精度：1-2um。MD综合测量仪是带有显示、运算、数据存储、反馈输出功能的综合测量仪。可以代替普通的量仪+PLC或者量仪+电脑的应用。

图5气动传感器

图6 MD综合测量仪

对于加工件的几何尺寸测量，比如高度、长度、厚度以及圆度、同心度、跳动度等，都可以采用位移传感器，结合信号处理放大器，对工件进行测量。测量的结果可以由电脑端SPC软件读取，以Excel格式保存，进行常规的统计分析，或者上传数据库等操作。