有研硅背后的技术和算法

百态老人 2025-03-06 00:34:26

有研硅(688432.SH )作为国内半导体硅材料领域的领军企业,其核心技术覆盖硅片制造全流程,并在刻蚀设备用硅材料领域达到国际领先水平。以下是其技术和算法的详细分析:

一、硅片制造核心技术

全流程技术覆盖有研硅拥有7类核心技术,其中6类直接应用于硅片生产的拉晶、背封、退火、切片、研磨、抛光、清洗和测试等环节,解决了单晶缺陷控制、体铁浓度优化、表面金属污染清除、平整度提升等关键难题。例如:

单晶生长技术:采用超导磁场控制晶体缺陷,结合热场模拟计算和工艺数据分析系统,优化拉晶过程中的热场设计和氧浓度控制。

精密加工技术:通过自主设计的化学腐蚀设备和多步抛光工艺(如5联抛光),实现硅片的高平整度(局部平整度达纳米级)和超洁净表面。

高纯度与先进制程能力

电子级多晶硅纯度要求达到9-11个“9”(99.9999999%-99.999999999%),并通过直拉法(CZ)和区熔法(FZ)生长大尺寸单晶硅锭。

针对28纳米及以下制程,攻克了晶体缺陷尺寸控制(亚微米级缺陷)、金属杂质含量极低(ppb级)等难题,满足先进集成电路的严苛需求。

尺寸与产业化突破

在国内率先实现6英寸、8英寸硅片量产,并完成12英寸硅片技术储备。例如,8英寸硅片采用低阻红磷/砷掺杂技术,应用于IGBT和SOI衬底,已获客户订单。

12英寸硅片技术通过国家重大专项验收,储备32项相关专利,但因投资风险通过参股公司(山东有研艾斯)推进产业化。

二、刻蚀设备用硅材料技术

国际领先地位其“大直径晶体生长及部件加工技术”填补国内空白,可生产直径380-450mm硅单晶及精密部件,关键指标如缺陷密度(<0.1/cm²)、电阻率均匀性(±1%)达到国际领先水平,获有色金属工业科学技术一等奖。

特色产品开发开发低缺陷低电阻材料、高电阻电极用硅材料等,应用于5G和AI芯片刻蚀工艺,全球市场份额达16%。

三、算法与研发支撑

工艺优化算法

单晶生长数据分析系统:通过机器学习分析拉晶工艺参数(如温度梯度、拉速),优化晶体生长过程,减少缺陷并提升良率。

缺陷自动读取与形状分析系统:利用图像识别技术实时监测硅片表面缺陷和几何参数,实现高精度质量控制。

研发体系与专利布局

研发费用率(5.52%-8.25%)高于行业平均,拥有137项授权专利(63项发明专利),涵盖单晶生长、加工、检测全环节。

技术团队包括国务院特殊津贴专家,依托国家企业技术中心、集成电路关键材料国家工程研究中心等平台,承担多项国家科技攻关项目。

四、技术迭代与市场整合

新产品开发区熔硅片、超低氧硅片、超低阻硅片等新产品进入批量生产,满足第三代半导体(如碳化硅器件)需求。

并购强化技术壁垒收购日本DGT公司(硅精密加工技术),整合刻蚀硅材料与部件制造,提升产业链协同效应。

五、挑战与差距

在12英寸硅片量产和先进制程(如14nm以下)产品种类上,仍落后于国际巨头(如信越化学)。

客户集中度较高(前五大客户占比超60%),需加速新客户认证以应对市场竞争。

综上,有研硅通过全流程自主技术、算法驱动的工艺优化以及持续研发投入,确立了国内硅材料领域的技术领先地位,并在刻蚀材料等细分市场实现国际突破。然而,在先进制程和大尺寸硅片量产方面仍需进一步突破。

♯ 有研硅在12英寸硅片量产和先进制程(如14nm以下)产品种类上的具体技术挑战是什么?

有研硅在12英寸硅片量产和先进制程(如14nm以下)产品种类上的具体技术挑战主要包括以下几个方面:

技术参数要求高:12英寸硅片的技术参数要求非常高,涉及多个关键指标,如单晶微缺陷、硅片平整度、表面颗粒物、表面沾污等。这些指标在8英寸与12英寸硅片之间存在显著差异,对生产工艺流程和特殊控制技术提出了更高的要求。例如,12英寸硅片的边缘局部平整度、高度径向二阶导数、纳米形貌等指标都有更高的要求。

工艺复杂性增加:随着硅片直径的增大,制造难度也随之增加。生产过程涉及亚微米甚至纳米级别的结构,工艺稳定性、产品质量参数一致性、单台设备产能和单位产品成本持续降低控制等都是需要长期积累的技术难题。此外,12英寸硅片的单晶生长需要使用更大尺寸的热场,这进一步增加了工艺的复杂性。

研发和生产成本高:为了满足12英寸硅片的高技术指标要求,厂商需要掌握更复杂的生产工艺流程及特殊控制技术,这无疑会增加研发成本。此外,由于12英寸硅片的生产涉及多个环节,每个环节都需要长期的技术积累和优化,这也增加了整体的研发和生产成本。

技术突破难度大:尽管有研艾斯在攻克单晶微缺陷、硅片平整度、表面玷污等关键技术难题方面取得了进展,但这些技术突破仍然面临诸多挑战。例如,热场设计化、杂质和缺陷控制及单晶生长安全、硅片几何参数控制、表面金属和颗粒沾污的去除等问题仍然需要进一步解决。

先进制程的兼容性:在先进制程(如14nm以下)方面,12英寸硅片的表面微粗糙度、硅单晶缺陷、金属杂质、晶体原生缺陷、表面颗粒尺寸和数量等技术指标要求更加严格。这些参数将直接影响硅片的成品率和性能。随着制程的不断缩小,制造工艺对硅片缺陷密度与缺陷尺寸的容忍度不断降低,这对有研硅的技术能力提出了更高的要求。

市场竞争和技术先进性:有研硅在科创板上市前面临的技术先进性和独立性的要求较高。虽然公司通过参股有研艾斯推进12英寸硅片业务,但其核心技术仍存在归属的不确定性。此外,公司在12英寸硅片领域的研发进度明显落后于同行,相关研发技术停滞多年,未能跟上行业发展的步伐。

综上所述,有研硅在12英寸硅片量产和先进制程产品种类上的具体技术挑战主要集中在高技术参数要求、工艺复杂性增加、研发和生产成本高、技术突破难度大以及先进制程的兼容性等方面。

♯ 有研硅如何通过并购日本DGT公司整合硅精密加工技术,具体提升了哪些技术壁垒?

有研硅通过并购日本DGT公司,成功整合了硅精密加工技术,具体提升了以下几方面的技术壁垒:

刻蚀设备用硅材料与硅精密加工技术的结合:有研硅生产的刻蚀设备用硅材料是DGT生产刻蚀设备部件的主要原料,双方在产业链上下游关系紧密。通过并购DGT,有研硅不仅获得了成熟的硅精密加工技术和表面处理技术,还实现了从硅材料到硅部件的产业链整合升级,提高了行业技术壁垒。

技术更新与创新:并购DGT后,有研硅将加快刻蚀设备用硅材料制造技术的更新迭代,使刻蚀设备用硅材料技术与DGT的硅精密加工技术相结合,进一步提升技术水平和产品质量。

市场竞争力与客户资源:DGT在日本科技领域具有特殊地位,其产品质量和服务水平受到行业认可。通过并购DGT,有研硅不仅整合了技术资源,还获得了重要的客户资源,如台积电和美光等半导体巨头。这些客户资源有助于有研硅拓展国际市场,提升市场竞争力。

供应链完整性与成本控制:并购DGT有助于有研硅实现供应链的完整性,降低终端客户认证的成本和风险,加速认证进度。这不仅提高了有研硅在国际市场的竞争力,还有效控制了生产成本。

产业链整合与协同效应:此次并购与有研硅的发展战略高度契合,符合国家集成电路产业发展的政策导向。通过整合上下游资源,有研硅能够提升产品市场竞争力,持续投入研发,进一步增强其在半导体硅材料领域的竞争力。

♯ 有研硅的单晶生长数据分析系统和缺陷自动读取与形状分析系统的技术细节和应用效果如何?

有研硅的单晶生长数据分析系统和缺陷自动读取与形状分析系统的技术细节和应用效果如下:

单晶生长数据分析系统

技术细节:

有研硅自主开发了针对不同单晶炉型的全自动数据分析程序,通过数据挖掘和计算,实现拉晶过程数据的差异化分析(可视化、可量化)。

该系统能够从现有拉晶数据中自动挖掘拉晶失败尝试与成功尝试的数据,实现差异化分析。

这是公司在行业内独有的原创技术,具有较高的创新性和独特性。

应用效果:

通过该系统的应用,可以显著提高单晶生长过程中的数据处理效率和准确性,帮助技术人员更好地理解拉晶过程中的关键参数和潜在问题。

该系统有助于优化拉晶工艺,提高单晶的成品率和质量,从而提升生产效率和经济效益。

缺陷自动读取与形状分析系统

技术细节:

有研硅自主开发了缺陷自动读取技术,结合化学腐蚀法与硅片表面缺陷测试系统,建立了晶体缺陷评估测试的有效检测评估机制。

该系统能够自动识别和读取硅片表面的缺陷,并进行形状分析,提供详细的缺陷分布和类型信息。

系统还具备损伤密度自动计数功能,有效控制硅片加工的精密性和稳定性。

应用效果:

通过该系统的应用,可以显著提高硅片表面缺陷检测的自动化程度和准确性,减少人工干预,提高检测效率。

该系统有助于及时发现和处理硅片表面的缺陷,确保硅片的质量和性能,从而提升最终产品的可靠性和一致性。

综合评价

有研硅的单晶生长数据分析系统和缺陷自动读取与形状分析系统在技术上具有较高的创新性和独特性,应用效果显著。这些系统不仅提高了生产效率和产品质量,还为硅片制造过程中的数据管理和质量控制提供了强有力的技术支持。

♯ 有研硅在刻蚀设备用硅材料领域的国际领先地位是如何实现的,具体有哪些技术创新?

有研硅在刻蚀设备用硅材料领域的国际领先地位是通过一系列技术创新和持续的研发投入实现的。具体来说,有研硅在以下几个方面取得了显著的技术突破:

产品规格全,客户壁垒高:有研硅提供覆盖全球前三家刻蚀设备厂商的刻蚀设备用全谱系硅材料产品,产品规格齐全,客户壁垒高,盈利能力强。公司掌握完整刻蚀设备硅材料核心技术,取得多项发明专利,并牵头制定多项国家标准,技术能力覆盖客户需要全尺寸,为客户提供个性化产品。此外,公司还掌握大尺寸硅材料热场设计、精密加工等核心技术,国际领先。

自主研发低缺陷大尺寸硅材料:有研硅自主研发的低缺陷18英寸大单晶、IGBT用8英寸硅衬底抛光片、COP-Free等新产品已成为其新的利润增长点。这些产品的成功开发不仅提升了公司的技术水平,还为可持续发展奠定了坚实基础。

持续研发投入:有研硅及其研发人员在SCI和EI发表论文59篇,相关技术及产品获得2项国家级科技奖、6项省部级科技奖、2项国家级新产品新技术认定,以及6项省级、行业协会的创新和认定产品技术,1项中国发明专利金奖。这些成果展示了公司在技术创新方面的强大实力。

国际市场份额:根据公司产量及相关调研数据估算,2021年有研硅刻蚀设备用硅材料产量为328.25吨,全球刻蚀设备用硅材料市场规模年消耗量约为1800吨-2000吨,公司国际市场占有率约为16%。这一市场份额的取得,反映了公司在国际市场的竞争力。

与主要客户的长期合作关系:有研硅与华润微、士兰微、华微电子、中芯国际、日本CoorsTek、韩国CNC等主要芯片制造及刻蚀设备部件制造企业保持长期稳定的合作关系。通过不断加大研发投入、提升品质和优化成本,公司与主要客户保持技术交流,准确把握技术方向,并同步开发新品,保持行业领先地位。

技术储备雄厚:公司长期从事半导体硅材料的研发,拥有国内领先的科研雄厚实力和技术水平。公司是国内最早实现硅片和8英寸晶圆规模化生产的企业之一,相关技术已达到国内领先水平。在刻蚀设备用硅材料领域,公司技术水平已达到国际领先水平。

国际认证和市场认可:有研硅的产品通过了众多国内外知名芯片制造企业和半导体设备部件制造企业的认证和认可,与客户建立了长期稳定的合作关系。这些认证和认可进一步巩固了公司在国际市场的地位。

♯ 有研硅面对客户集中度较高的问题,采取了哪些措施来加速新客户认证和扩大市场份额?

有研硅面对客户集中度较高的问题,采取了多项措施来加速新客户认证和扩大市场份额。以下是具体措施:

加强市场拓展:有研硅坚持以市场为导向,以客户为抓手,持续加强市场开拓力度,积极满足客户需求。根据市场形势变化,灵活调整经营策略。特别是在二季度市场回升的有利时机,及时调整产品结构,提高与客户订单的匹配度,实现硅片销售量的历史新高。

加快推进新客户和新产品的认证工作:有研硅加快推进新客户和新产品的认证工作,不断提高新产品销售转化率。通过优化产品结构和提高产品质量,努力提高新产品销售转化率。

并购株式会社DG Technologies:通过并购株式会社DG Technologies,有研硅加速了刻蚀设备用硅材料制造技术的更新迭代,促进了硅材料与硅部件产业的整合升级,提高了行业技术壁垒。并购还加速了海外市场拓展,降低了终端客户认证的成本和风险,加快了认证进度,符合公司发展战略。

优化产品结构和质量:有研硅在持续优化新技术、新工艺的同时,努力推进新产品的市场验证。区熔硅片、超低氧硅片、超低阻硅片、超大直径单晶等新产品普遍获得了市场正向反馈,进入批量生产阶段。公司会根据市场反馈积极贴合客户需求,不断优化产品结构,持续提高产品质量。

加强海外市场的开发和销售工作:在保障国内市场的同时,有研硅将进一步加强海外市场的开发和销售工作,力争扩大海外销售比例。通过利用DG在日本的客户渠道,降低终端客户认证成本和风险,加快认证进度。

生产基地搬迁后的客户认证:尽管生产基地搬迁导致部分目标客户需要重新认证,但公司通过优先安排认证流程,整体上重新认证过程相对通常情况较快。截至2022年6月30日,公司硅片和刻蚀设备用硅材料稳定客户分别为44家和23家。

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