日本禁止向韩国出口的高纯氟化氢,真的只有日本才能生产出来吗?

熊孩子爱科技 2019-11-26 16:37:01

2019年7月1日,日本宣布对韩国三类原材料进行出口管制,这三类原材料是用于半导体制造的化工品,分别是氟聚酰亚胺、光刻胶和高纯度氟化氢。

这三种化工品,韩国都对日本依存赖度较高,氟聚酰胺甚至达到了93.7%,而用于半导体制造的高纯度氟化氢几乎100%由日本进口。禁令一出,韩国电子业就受到巨大的震动。分析人士指出,日本这一贸易措施将严重影响韩国、乃至全球半导体供应链产能,导致内存、闪存、OLED屏幕等产品面临涨价风险。

由人及己,国内有人担心我们是否也受到日本“卡脖子”。

网上有人从氟化氢生产过程分析,要生产出电子级氟化氢有多难,大都认为生产过程对工艺过程、生产环境、生产设备要求有多高,似乎只有日本才能生产出来。

有人说这种超净室很难

然而,实情让人大跌眼镜!

在韩国遭到禁运的时候,中国相关生产厂家立即闻风而动,并且SK海力士等工厂很快就完成了取代日本产品的测试。

在半导体制造过程中,主要有两种蚀刻技术:干式蚀刻和湿式蚀刻。

干式蚀刻:通常称为反应离子刻蚀或RIE,使用通常含有卤素原子的等离子体活化的刻蚀气体,选择性地去除一部分材料。优点在于精度高,安全。缺点是产能低,成本高。

湿式蚀刻:使用酸或碱的水溶液来快速除去大量材料或完全去除特定材料。优点是便宜,产能高。缺点则是精度低,危险性高,蚀刻用化学品不宜长期储存。

高纯度氟化氢在半导体制造过程中主要用于湿式蚀刻,而在整个蚀刻行业中,不同的加工对象,采用的蚀刻气体又有多种。

因此,总的来说,半导体行业对氟化氢的需求不算太大,业内人士评论,用于半导体蚀刻的氟化氢纯度99.99%已经够用了。更要命的是,2013年、2014年中国在这方面的产能利用率还不到50%,一直到2018年,我国环保要求提高,氟化氢产能利用率才提升到约61%

而日本能够一直垄断整个行业,是因为他们的纯度更高、产能高、价格便宜。说白了,就是他们的产品性价比更高。

当然,在我国一方面要抑制过高的产能,淘汰规模较小、工艺技术落后、污染严重的产线,还必须提高产品纯度,降低成本,提升产品的竞争力。

在这个行业,真不是防“卡脖子”,而是要想方设法去人家碗里抢吃的。

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