摘要：

随着湿化学设备在LED、太阳能、MEMS、功率器件、分立器件、先进封装和半导体材料等领域自动化程度的不断提高，使用药液多样化，且对药液温度需要进行高精度控制，通过没有金属离子溶出污染的在线型冷却加热器，在湿法过程中不可缺少，可以直接循环使药液恒温，推荐使用华林科纳（CSE）电子冷热器。

华林科纳(江苏)半导体设备有限公司（简称CSE），成立于2008年3月。前身是苏州华林科纳半导体设备技术有限公司，与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所合资共建，其湿制程业务始于 90年代末，拥有20多年的行业经验，是国内最早的湿法制程整体解决方案提供商。

公司下设半导体湿法装备事业部、高纯流体配件事业部、半导体信息服务事业部，其中半导体湿法装备事业部凭借资深经验，现已形成湿法清洗系统、刻蚀系统、CDS系统、尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品，广泛应用于大规模集成电路电力电子器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域。

公司优势：

Ø 技术支撑

华林科纳与苏州纳米研究所合资共建，保障了前沿技术、核心技术、关键技术的研究和开发；

Ø 研发团队

华林科纳具有高新技术企业资质，核心技术人员来自德国、台湾、苏州纳米所，均有十五年以上CDS和WETBENCH的研发设计经验；

产品介绍：

①　主要用于半导体工艺制造中的高腐蚀性药液的温度控制管理。

Ø 湿法刻蚀用药液

l RCA清洗液

l 蚀刻液

l 光刻工序的显影液

Ø 其他领域的各种药液的温度管理

l 电镀液、各种表面处理液等 （注）不能使用含有臭氧的药液。

②　产品主要特点：

Ø 液体的冷却加热部件采用特定材料，无金属离子，对产品无污染。

Ø 选用密封材料具有高耐性和非粘粘性。

Ø 电子元器件进行冷热控温，可以实现高精度控制，温度维持能力优秀。

Ø 采用PTFE&PFA管路材质

Ø 装有药液及冷却水的漏液传感器,温度异常监测功能。