产品信息
产品功能：透光材料内应力分布测量
检测对象：三代化合物晶圆片、精密光学元件（平晶、棱镜、波片、透镜等）
技术特点
• 基于偏振相机的应力测量模型可以实现瞬时测量，快速显示应力二维分布伪彩图• 采用双远心检测光路，相位延迟测量精度高• 根据不同测量视场要求，多种镜头可选
型号：Stress Viewer 50/200
样品测量口径：8寸以内样品
应力测量输出内容： 相位延迟（°）及光学延迟（nm），归一化延迟（nm/mm），综合应力（MPa，psi）及方位角
测量光源：630nm LED光源
应力测量范围： 0~155nm光学延迟（圆偏） 0~315nm光学延迟（线偏）
方位角测量范围： 0-180°
SIC晶圆内应力测试案例
来源于米格实验室，作者米格小编
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