车规级芯片实验室设计的设备配置方案

芯片迷不休息 2025-02-18 08:29:06
原创 芯片失效分析 半导体工程师 2025年02月17日 11:05 北京

以下是为深圳车规级芯片实验室设计的设备配置方案,总预算控制在1亿元以内,国产设备占比85%,部分关键设备采用进口方案并备注替代建议:

一、可靠性测试设备(预算:2500万)

设备名称国产型号/品牌价格(万元)用途备注高温老化试验箱GDJS-1000B(广东宏展)120模拟高温环境下的长期老化国产温度循环试验箱TSE-11(重庆四达)180高低温循环应力测试国产湿热试验箱SH-642(上海爱斯佩克)90湿度+温度复合环境测试国产振动试验台DC-2000(苏州东菱)350机械振动可靠性测试国产三综合试验箱WS-903(武汉中元)800温度+湿度+振动联合测试国产盐雾试验箱YWX-150(安徽佳力)60耐腐蚀性能测试国产

二、电性能测试设备(预算:2200万)

设备名称型号/品牌价格(万元)用途备注高速示波器SIGLENT SDS6000 Pro(鼎阳)150高频信号采集与分析国产参数分析仪B1500A(Keysight)450芯片电参数精确测量进口替代:广立微WAT-3000(300万)车规级ATE测试机STS 8300(华峰测控)1200芯片全功能自动化测试国产高精度电源IT-M3100(艾德克斯)80供电稳定性测试国产射频信号发生器SSG-5000X(普源精电)120高频信号模拟国产

三、失效分析设备(预算:2800万)

设备名称型号/品牌价格(万元)用途备注扫描电子显微镜(SEM)ZEISS Gemini 500(蔡司)1800纳米级芯片结构观测进口替代:中科科仪KYKY-EM8000(1200万,分辨率稍低)聚焦离子束系统(FIB)Thermo Scientific Helios 52500芯片剖面切割与修复进口(国产暂无成熟方案)X射线检测仪Y.Couden XG-160(日联)600内部缺陷无损检测进口替代:善思SX-200(400万)

四、芯片封装与加工设备(预算:2000万)

设备名称型号/品牌价格(万元)用途备注激光修调机HGL-LASER 300(华工激光)800晶圆电阻微调国产探针台CP12-Pro(长川科技)500晶圆级电性能测试国产真空回流焊炉VRS-800(劲拓股份)300高可靠性焊接工艺国产自动贴片机GMT-800(GKG)400芯片封装精密贴装国产

五、辅助与信息化设备(预算:500万)

设备名称型号/品牌价格(万元)用途实验室管理系统LabMaster(深圳赛西)200设备联网与数据管理超净工作台SW-CJ-2FD(苏净安泰)50千级洁净环境操作防静电系统DESCO 92674(进口)80ESD防护(国产替代:中科微纳)恒温恒湿机HAIR HC-12(格力)170环境温湿度控制

总预算分配

国产设备占比:8500万(85%)

进口设备:1500万(15%,主要为SEM/FIB)

预算弹性:预留300万用于调试与耗材采购

替代方案说明

SEM/FIB设备:若需完全国产化,可选中科科仪SEM(1200万)+ 自研FIB方案(需联合科研院所),但精度可能影响高端分析。

参数分析仪:广立微WAT-3000可替代Keysight,性价比更高但速度略低。

此方案满足AEC-Q100/Q104等车规认证需求,建议与比亚迪半导体、华为海思等本地企业合作,获取车规级测试经验支持。

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