作者｜黄楠

编辑｜袁斯来

硬氪获悉，睿励科学仪器(上海)有限公司（以下简称「睿励科学仪器」）近日完成数亿元B轮融资，本轮融资由金石投资、招商致远领投，清控金信、河南资产、鼎青投资等资方跟投。

融资资金将用于高精度光学量检测系列产品的研发和市场化推广，丰富公司的产品矩阵，加速扩大生产并加强公司的市场拓展和品牌建设等。

「睿励科学仪器」成立于2005年，是一家专注于半导体前道工艺的量检测设备公司，为国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”，先后承担两个国家级“02专项”，具备全自主研发技术。公司总部位于上海浦东新区，其团队成员多来自全球前两位量检测设备企业和国内知名光学技术公司，有18年产品开发和市场应用经验。

芯片量检测设备可细分为检测（Inspection）和量测（Metrology）两大类。其中，量测指对晶圆电路上的结构尺寸和材料特性进行量化描述，包括薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。检测指对晶圆表面上或电路结构中是否出现异质情况进行检测， 如颗粒污染、表面划伤、开短路等对芯片工艺性能具有不良影响的特征性结构缺陷。

量检测设备贯穿芯片制造的工艺过程，多被用于工艺过程质量控制和保证产线良率。其中，随着芯片结构的复杂性增加带来光刻层数变多，每次光刻工艺循环都会带来多次量检测需求。

近年来，随着国内半导体产业的快速发展和产业升级，对高端、精密的半导体设备需求不断增加。量检测设备也被认为是位列刻蚀、薄膜沉积、光刻后的晶圆厂设备（WFE）第四大市场，其规模约占半导体设备市场的13%。

但长期以来，全球半导体量检测设备市场呈国外头部公司垄断格局，中国半导体量测设备此前多依赖美国、日本、荷兰、新加坡和韩国等进口，国产化率仅约5%，是半导体设备中除光刻机外最低的类别，目前正面临高端人才稀缺、技术壁垒高、量产难度大和核心零部件国外依赖度等多重挑战。

关注到半导体行业和国产化替代的广阔市场，「睿励科学仪器」专注于光学技术，在高精度光学量测和检测领域持续耕耘，提出自研算法模式、独立设计的光学架构，打破国际厂商垄断，已在先进制程工艺节点率先完成了介质膜厚量测产品和明场缺陷图形检测产品的交付和大规模量产。

「睿励科学仪器」部分产品图

根据实际检测，公司产品成熟度高，量产性能可匹配国外同类设备水平，可靠性验证超过10年，在各类客户不同的生产工艺产线上都通过了大规模量产的验证。

目前，「睿励科学仪器」的客户涵盖了逻辑代工、3D闪存、动态存储器、先进封装等领域，广泛应用于300mm、200mmm、150mmfab厂，出货量超过数百台。

硬氪了解到，「睿励科学」每年研发投入比高达40%，本次融资完成后，预计将吸引更多高端人才加入，持续保持高强度的产品研发投入。公司于上海浦东建有生产基地，年产能超过150台、满产后可支持15亿元的年产值。

金石投资表示，半导体设备是半导体产业的基石，中国半导体产业的蓬勃发展有赖于半导体设备的技术和产品突破，量检测是其中的关键环节。睿励科学作为中国最早的一批量检测设备公司，吸引了来自于国内外的顶尖人才，坚持技术创新，聚焦光学技术，我们相信睿励科学将继续保持技术和产品领先，帮助先进制程实现国产替代的突破和发展。

招商致远表示，半导体量检测设备面临巨大的市场空间和国产替代机遇，也具有很高的壁垒。招商致远看好半导体量检测赛道，期待睿励科学凭借优秀的团队和多年的技术积累和量产经验，成为该细分赛道的领导者。