半导体设备ETF（159516）跟踪中证半导体材料设备主题指数，聚焦半导体上游最卡脖子的设备材料领域，弹性较大，有望更受益于自主可控和产业周期反转。
中信建投表示，随着全球半导体设备回升，国内下游产线扩产预计将继续向上，叠加设备国产化率快速攀升，国产设备均会有较好的订单表现。2024年前三季度板块内公司基本面整体表现优秀，营收高速增长，订单支撑强劲，坚定看好半导体设备板块投资机会。
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