金融界2024年12月23日消息,国家知识产权局信息显示,南通昱萌电子科技有限公司申请一项名为“一种基于BCB键合的柔性衬底单端口SAW谐振器”的专利,公开号CN119154835A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明公开了一种基于BCB键合的柔性衬底单端口SAW谐振器,涉及表面声波器件技术领域。本发明提供了一种热应力缓冲结构,有效解决了压电薄膜材料与异质衬底,尤其是柔性衬底的晶格失配和热失配问题,从而实现了高质量LiNbO3压电单晶薄膜的生长;柔性SAW谐振器有着较高灵敏度和可观的应变范围,且重复性和稳定性良好,为共形声学应变传感器的研制和应用提供了新的技术途径;采用柔性衬底,将SAW谐振器集成于曲面上,具有一定的弯曲能力,解决了无法在曲面上实现共形集成或兼容可穿戴电子的问题。
本文源自:金融界