金融界2025年1月25日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺腔室、半导体工艺设备和半导体工艺方法”的专利，公开号CN119340236A，申请日期为2023年7月。
专利摘要显示，本发明提供了一种半导体工艺腔室、半导体工艺设备和半导体工艺方法，涉及半导体加工工艺技术领域，为解决现有工艺腔室中伸缩密封件寿命低的问题而设计。半导体工艺腔室半导体工艺腔室，包括：反应腔；传输腔，位于反应腔下方，通过底部开口与反应腔连通；基座；驱动机构，与基座传动连接以驱动基座升降；以及伸缩密封组件，包括上密封环和伸缩密封件，上密封环配置为在驱动机构所施加向上的抬升力作用下抵接底部开口以将底部开口密封；伸缩密封件的顶端与上密封环的底面密封连接，伸缩密封件的底端与传输腔的底壁密封连接。本发明半导体工艺腔室可以减缓了伸缩密封件老化的速度，提高了设备的使用寿命和稳定性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1000次，知识产权方面有商标信息36条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
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