现在行业内外一聊到半导体行业都会提及光刻机。全球三大光刻机供应商：ASML、NIKON、CANON在过去几十年里推出了上百种各类型号、不同技术指标和功能的光刻设备。即便是行业内的专业人士也无法完全背诵出来
所以我也一直在花时间收集整理这些数据。今天整理一个简易版（省略部分过于专业的参数指标）的光刻机型号汇总，供大家参考
完整数据的原始EXCEL表格文件，我已经放到了知识星球的云盘上供会员使用。如果您对此类数据有兴趣，欢迎加入我的知识星球后获取 -- 文章最后有加入方式
来源于半导体综研，作者关牮 JamesG
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