光刻机要突破了,又有人说光刻胶! 刚刷到国产光刻机有进展的消息,评论区立马有人补刀:“别光看机器,光刻胶才是关键”。 确实,光刻机是 “画笔”,光刻胶就是 “墨水”,没有合格的胶,再先进的机器也白搭。 全球 90% 以上的高端光刻胶都被日本企业攥着,咱们之前连 28nm 用的 ArF 光刻胶都得全靠进口。 更头疼的是这东西保质期就几个月,想囤货都没法囤,真断供了晶圆厂可能一个月内就得停摆。 不过咱们也不是没有准备。 最近南大光电的 ArF 光刻胶已经实现 50 吨量产,还稳定供货中芯国际了。 兴福电子也收购了核心技术,从上游材料端破局。 虽然 7nm 以下的 EUV 光刻胶还在攻关,但至少成熟制程不用再看别人脸色。 而且日本也不敢用光刻胶说事,因为没有中国的原料他们连装光刻胶的瓶子都造不出来。 光刻机和光刻胶就像两条腿,缺哪个都走不快。 现在一条腿在加速,另一条也跟上了,这才是真的有盼头。日本中国光刻技术 极紫外光刻技术


