就在进入2025年的前几天,我们国家传来一个又一个好消息。先是六代机首飞成功,紧接着,两栖攻击舰“四川舰”也顺水下水了,海防力量又添一员猛将。
不光如此,我们半导体界也是捷报频传。2024年,我们国产芯片的出口额首次冲破了万亿元大关,这可是实力的象征。更厉害的是,高端EUV光刻机的研发也有了重大进展,说出来你可能不信,哈工大放了个大招,把ASML都给惊着了,直呼“真要来了”!
ASML的总裁富凯先生,在接受采访的时候,提到了美荷联手禁止向我们出售EUV光刻机这事儿,他说这样一来,我们大陆的芯片制造技术就要落后西方十年十五年。这话听起来挺让人不是滋味的,但也从侧面反映了EUV光刻机的重要性。
有一说一,EUV光刻机是制造高端芯片的关键设备,特别是7纳米以下的先进制程,离了它还真不行。虽说用先进的浸润式DUV也能凑合着做出7纳米、5纳米的芯片,但成本高、良品率低,不是长久之计。
不过,我们也不是吃素的,华为自研的麒麟芯片就是个例子。你看那几款麒麟芯片,性能直逼7纳米甚至更先进的工艺,华为还说了,通过软硬件优化,这事儿能成。想当年,台积电刚开始搞7纳米的时候也没用EUV,后来有条件了,自然就用上了。现在人家3纳米都量产了,2纳米也开始风险试产了,我们虽然没EUV,但差距也没ASML总裁说得那么大。
但话说回来,EUV的重要性我们心里还是有数的。关键是,EUV光刻机全球就ASML一家能造,人家当然有骄傲的资本。连英特尔这样的美企巨头都得排队抢购ASML的高端EUV。
台积电能成为晶圆代工的老大,跟ASML关系铁是一方面,更重要的是人家EUV拿得多,技术又领先,自然抢占了90%的先进制程市场。三星为了追上台积电,也是拼了,直接跑到ASML总部去套近乎,就是为了多搞点EUV回来。
反观我们大陆的企业,想买EUV,基本上没戏!中芯国际早在2018年就订了台EUV,1.2亿美元,结果因为美方的阻拦,到现在都没见着影儿。所以,要想用上EUV,我们要自力更生,加快自主研发的步伐。
2025年还没到,哈工大就传来了好消息,“放电等离子体极紫外光刻光源”项目在大赛上拿了一等奖,ASML估计都没想到。这可不是纸上谈兵,是实实在在的成果转化,项目优势多多,造价低、体积小,还能提供13.5纳米的极紫外光,跟ASML的EUV光刻机用的光源一模一样。
光源在EUV光刻机里那可是核心中的核心,还有高精度镜头、精密仪器制造技术,这三样缺一不可。我们这次在光源上有了突破,物镜系统、双工作台这些也都在路上,虽然还有差距,但正在加速缩小。
照这个速度发展下去,我们国产EUV光刻机未来五年左右突破不是梦。就连外媒都忍不住说,大陆的国产EUV真要来了。到时候,ASML总裁说不定得改口,美方那套限制出口的策略也得重新考量考量了。对此,你们怎么看?