我国21个国产光刻机品牌:
1. 炬光科技
2. 腾景科技
3. 菲利华
4. 奥普光电
5. 上海微电子装备（集团）股份有限公司：中国领先的半导体设备制造商，专注于研发、制造和销售半导体微影设备，包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等。
6. 北京科益虹源光电技术有限公司：专注于研发高性能激光光源系统，为国产光刻机提供关键技术支持。
7. 深圳光韵达光电科技股份有限公司：研发、制造和销售半导体设备，包括193纳米的ArF干法光刻机。
8. 深圳市国泰光学有限公司：研发、制造和销售光学设备，包括高分辨率光刻机。
9. 北京北方华创微电子装备有限公司：国内光刻机企业之一，涉及光刻机整机制造。
10. 波长光电：提供光刻机平行光源系统。
11. 福晶科技：全球最大的LBO、BBO非线性光学晶体生产商，间接供货ASML公司光刻机激光光源晶体。
12. 苏大维格：向微电子提供光刻机用的定位光栅产品。
13. 沃格光电：光栅供应商。
14. 天准科技：对准设备供应商。
15. 磁谷科技：分子泵、氦气冷却供应商。
16. 茂莱光学：提供精密光学器件，DUV光学透镜给上海微电子供货。
17. 京华激光：控股的美国菲涅尔制版科技在光刻机微结构光学方面实力较强。
18. 福光股份：后续光学部件可展望单机价值量千万以上。
19. 永新光学：量测系统光学元件供应商。
20. 蓝英装备：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户。
总结： 中国国产光刻机品牌的发展是半导体产业国产化进程中的关键一环。随着技术的进步和政策的支持，国产光刻机品牌正在逐步崛起，不仅在国内市场取得了一定的市场份额，也在某些技术领域达到了国际先进水平。
这些企业涵盖了光刻机的整机制造、光源系统、光学器件、洁净设备等多个关键环节，展现了中国在光刻机领域的全面布局和发展潜力。随着国产光刻机技术的不断突破和产业链的完善，预计未来中国在全球光刻机市场中的地位将进一步提升。
