事关国产光刻机,7nm到5nm,ASML:突破从告别自嗨开始

东哥聊科技 2023-02-26 12:00:41

众所周知,芯片一直都是我国亟需解决的问题,殊不知,芯片的关键问题还是在于光刻机。我国华为等科技企业已经可以设计出先进的芯片,只是国内没有可以完成量产的芯片厂商,所以解决芯片问题的关键还是在于光刻机。

近日,光刻机市场传来两条消息,一个是国内某公司开发了SAQP及其,可以做到绕开EUV光刻机实现7nm工艺,甚至是5nm工艺,最重要的是没有达到经济学极限。

另一个是哈尔滨工业大学公布了一项“高速超精密激光干涉仪”的研发成果,并获得中国光电仪器品牌榜金奖,而这一研发成果被一些人宣称我国7nm以下的光刻机难题。

这两则消息传来,引起了诸多网友和相关业内人士的自嗨。要知道,在过去的两年时间里,不管是光子芯片还是量子芯片以及超分辨率光刻机等,都是绕开光刻机实现高端芯片制造的方案。

值得一提的是,这些绕开光刻机实现高端芯片制造的研究,目前还停留在实验室阶段。而想要完全解决光刻机难题必须要在工艺精度上实现突破,更需要理论与实践以及创新层面的进一步突破。

要知道,制造一台光刻机并不是简单的零部件组装,荷兰ASML公司生产的EUV光刻机,虽然精度可以达到5nm工艺,但它所需要的零部件超过10万个,90%以上的零部件来自全球5000多个国家和地区进口,可见EUV光刻机制造的难度有多大。

其实,我国在光刻机上的研发起步并不晚,在上世纪50年代就开始了。但到了80年代,被“造不如买,买不如租”的观念阻碍了对光刻机研究的深入。因为从国外直接买回来就可以使用,效率远大于自己研发,正是这种观念的存在导致了我国对光刻机的研发停滞不前。

直至今天被限制,才猛然发现,我们的技术依然停留在几十年前。要知道,任何没有基础作为支撑,想要实现弯道超车,难如登天,目前我们在光刻机上虽然有所突破,但并不是自嗨与盲目膨胀的时候。与西方相比,存在的差距依然很大,想要赶超,仍然需要花费很长的时间。

虽然在光刻机领域,我们没有放弃传统研究的同时,也在追求绕开光刻机的捷径。例如量子芯片、光子芯片以及芯片堆叠等途径来寻求弯道超车,但现在更多的是处在探索阶段,距离弯道超车还需要很长的距离。

哈尔滨工业大学研发的“高速超精密激光干涉仪”虽然可以实现光刻机在光刻机过程中对晶圆、物镜系统以及工作台的超精准定位,但是没有配套的激光干涉仪,就无法进行调试、生产工作。

而SAQP技术,英特尔早年前都已经尝试了,在10nm工艺上就已经翻车了。因为采用SAQP技术良品率太低,这或许是英特尔无法规模量产的原因所在,并且直径英特尔都没有公布10nm工艺的量产进度。

值得注意的是,目前已经确认的消息是,国产光刻机是90nm制程,但依然处于研发阶段,差距在于光刻胶,因为我们在光刻胶上还处于起步阶段。

国产光刻机想要取得更大的突破,就要认真面对差距,不要盲目的自嗨,盲目的自嗨不能解决任何难题,要对核心技术和设备存在敬畏,而不是盲目的自嗨误判形势。

值得一提的是,早年间,我国派遣科研人员赴荷兰的ASML学习的时候,ASML技术总监对我国科研人员说:“就算把图纸给到你们,你们也造不出EUV光刻机”,这话虽然透露出巨大的轻视,但也是实话。对于关键的核心技术,我们想要突破,就必须告别自嗨。

我们需要用务实的心态去认识到自研光刻机上的难题,才能对症下药,尽早攻克技术难关。只有从根源上知道努力的方向,才有望在未来5-10年解决国产光刻机的难题。对核心技术的突破,虽然任重道远,但依然要保持期待。

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