光刻机,号称人类能够制造出最为复杂的设备!也是制造芯片不可或缺的核心设备,谁能掌握先进的光刻机,谁就能在全球科技进步的半导体热潮中受益。然而在光刻机领域,尤其是最先进的EUV光刻机,ASML掌握着绝对的话语权!
正是因为ASML在光刻机领域的垄断地位,ASML成了老美遏制中国芯片制造最大的“关键武器”!面对老美的频频施压,荷兰最终还是做出了选择:禁售DUV光刻机!面对此举,我国也不会忍气吞声,做出了正式的回应!
其实荷兰并不想断供中企光刻机,甚至一度表示不会跟随美国脚步肆意断供,毕竟荷兰需要从中国引入大量硅片等光伏产品,而且我国拥有全球最大的芯片市场,一度成为ASML最大的客户,双方本身就存在互补的关系。但面对老美的不断施压,荷兰、ASML只能跟随老美的脚步。因为ASML使用了大量美国技术,并且背后还有许多美资本背书。
此前ASML的EUV光刻机无法进入大陆市场,之后美、日、荷达成三方协议,荷兰最终还是做出了选择!3月初,荷兰宣布对最先进的DUV光刻机实施出口管制,而根据ASML提供的信息,被限制的DUV光刻机型号涉及NXT:2000i及以上型号的设备。
虽然最低端的DUV光刻机还可以正常出货,但荷兰方面已经表明了自己的态度:跟随老美的脚步,这也意味着老美如果再切香肠,ASML任何光刻机型号都有断供的可能。
面对这种无理由的打压,我国就光刻机管控一事表示,不会忍气吞声,别无选择,我国尝试自主研发类似产品。
能制造光刻机的企业全球屈指可数,荷兰的ASML,日本的尼康、佳能,我国的上海微电子。在精度方面,虽然上海微电子与ASML有不小的差距,但也是能生产光刻机的企业之一,并且在后道封测光刻机领域有着出色的市场份额。
就目前而言,上海微电子已经实现了90nmArF光刻机的量产,别看只有90nm,但经过两次曝光后可实现22nm工艺芯片的量产。由于28nm等成熟工艺芯片广泛应用于家电、汽车、物联网、军工等领域,国产90nm光刻机的量产,至少让我国掌握住了芯片产业的基本盘。
此外,上海微电子还在加速推进28nm精度的DUV光刻机,目前正在联合国内激光企业解决光源的问题,在双工件台、物镜等相关零部件难题被攻克之后,光源也被许多人认为是国产光刻机的最后一块拼图。一旦突破关卡,全面替代ASML的DUV光刻机并不是没有可能。
毕竟物理原理就在那里,而且都是人制造出来的,即便ASML总裁也承认,中国一定能研发出高端芯片制造设备。
其实我国解决“卡脖子”问题的案例有许多,比如数控机床,行业内又被称为“工业母机”,这是一个衡量国家精密零部件制造能力的重要标准。我国机床行业虽然国产化率较高,但中高端数控机床却是长期被卡脖子的典型,许多核心技术掌握在日、欧、美手里,我们从海外进口不仅经常遭遇别国的恶意抬价,还被限制出货数量。
但我国将3D打印技术与机床相结合,任何精密零部件都能被打印出来,这也让全球机械工业迎来革新,曾经有外国人想从中国买走这项技术,在遭遇国内科研人员拒绝后,我国将这些技术列入不对外出口目录,并且不允许透露关于这项技术的任何设计细节。
相信光刻机也是一样,从国资委宣布对集成电路及工业母机等领域加快补短板,到科技部重组精兵简政,制定科技发展战略。近期又有外媒传出,我国将对上海微电子、华为、中芯国际放宽补贴条件,以获得更好的帮助,外加上“芯片狂人”赵伟国被审查,足以证明我国推动国产芯片自立自强的决心。相信在市场庞大、资金充裕、行业健康的背景下,国产芯片、光刻机必然能找到突破口!
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