1.1 结构类型与基本特征
二硫化钼（MoS₂）是一种具有二维层状结构的过渡金属二硫化物。其单层结构由一个钼原子层夹在两个硫原子层之间，呈现出一个 “S-Mo-S” 的三层堆叠结构。这种层状结构为MoS₂的独特物理特性奠定了基础，同时也使其表现出显著的各向异性。钼原子和硫原子之间通过强共价键结合，而各层之间则依靠较弱的范德华力维系，形成了稳定的层状材料。MoS₂的晶体结构主要包括以下几种常见的晶相：
2H相（六方相）
2H相是MoS₂最常见的晶相，其层状结构以六方对称排列（A-B-A-B堆叠序列），具有高对称性。2H相的晶格常数为 a = 3.16 Å 和 c = 12.3 Å，其中钼原子处于三棱柱位。这种结构赋予MoS₂半导体特性，其带隙在单层时为直接带隙，具有较好的光电性能。
1T相（单斜相）
1T相的结构为单斜对称，其中钼原子位于八面体位。该相通常由2H相通过掺杂或其他处理手段诱导产生，具有金属或半金属性。由于其金属性特征，1T相MoS₂在电催化和电极材料领域中具有广泛应用。
3R相（菱方相）
3R相的层状结构采用ABC-ABC的堆叠顺序，具有菱方对称性，较为少见。与2H相类似，3R相的MoS₂也为半导体特性，但其物理性质略有不同。
不同晶相的热力学稳定性决定了其在应用中的稳定表现。2H相作为最稳定的晶相，在自然条件下更易形成，因此在各类应用中广泛存在。1T相由于其较高的内能，通常为亚稳态。其形成通常依赖外界诱导，例如掺杂或应力处理等。3R相的稳定性介于2H和1T相之间，其独特堆叠结构赋予其不同于2H相的特性。
在能带特性上，不同晶相具有显著差异。2H相在单层结构时表现为直接带隙（约1.8 eV），具备较强的光吸收能力，使其适用于光电子领域。然而在多层状态下，2H相的带隙转变为间接带隙（约1.2 eV），适合电子器件应用。1T相则表现为金属性或半金属性，其无明显带隙，导电性能较好，这使其在电催化和能量存储等应用中尤为有利。
1.3 层数依赖性与结构转变MoS₂的电子和光学性质对层数十分敏感。单层MoS₂由于层数减少，晶体势能变化，表现出直接带隙，适合光电探测、光电转换等应用。而多层MoS₂的带隙逐渐转为间接带隙，适合电子器件和低光学损耗应用。此外，随着层数的增加，层间范德华力增强，可能导致结构发生轻微变形甚至相变（如2H相转为1T相）。这种层数依赖性为MoS₂靶材结构调控提供了可行性和设计空间，使其可通过精准层数控制满足不同应用需求。
2. 二硫化钼靶材的制备方法2.1 粉末冶金法粉末冶金法是通过将Mo和S粉末按比例混合后压制、烧结，从而获得MoS₂靶材的传统方法。这一过程通常在惰性气氛中进行，以防止氧化并确保高纯度。通过控制烧结温度、压力和气氛，可以调控靶材的密度和微观结构。然而，粉末冶金法的晶相控制相对困难，通常适合于规模化生产低成本MoS₂靶材。
2.2 机械剥离法机械剥离法是获得单层或少层MoS₂的经典方法，通过胶带等工具将块状MoS₂剥离成单层材料。该方法适合于实验室中制备高质量单层MoS₂，但由于机械操作难以精准控制层数和面积，因此不适合规模化应用。然而，机械剥离法制备的MoS₂层数纯净，晶相完整，因此适合进行结构表征和基础研究。
2.3 化学气相沉积法（CVD）化学气相沉积法（CVD）是制备高质量、可控层数MoS₂靶材的主流方法之一。CVD工艺的核心是通过MoO₃和硫源在高温条件下进行化学反应并沉积在基底上。气源浓度、基底温度、沉积时间等参数对成品的层数、晶相、缺陷密度有直接影响。通过调节这些工艺参数，可以获得单层或多层的MoS₂靶材，尤其适合制备高纯度2H相材料。
2.4 水热/溶剂热法水热和溶剂热法通过在高温高压条件下反应形成MoS₂。这种方法在制备分散性纳米结构中表现良好，如MoS₂纳米片和纳米颗粒。通过调控溶剂、温度和反应时间，可以调节MoS₂的形貌和尺寸。然而，水热法制备的MoS₂层数和晶相不易控制，适用于制备特殊结构或形貌的靶材。
2.5 液相剥离法液相剥离法利用溶剂与超声波协同作用，将MoS₂剥离成单层或少层结构。该方法的核心在于选择合适的溶剂和优化超声功率，以避免过度剥离或样品破损。液相剥离法操作简便，适合大批量制备MoS₂纳米片，但由于层数难以精确控制，产品均匀性不如CVD法。
2.6 分子束外延法（MBE）MBE法通过在超高真空条件下使用分子束沉积材料，实现对MoS₂层数的精准控制。MBE制备的MoS₂层数和晶相均匀，特别适合研究表面缺陷和晶相结构。然而，MBE成本较高，制备速率较慢，适合基础研究中的小面积样品制备，不适合规模化应用。
3. 结构调控及其对二硫化钼靶材性能的影响3.1 层数控制层数控制是制备MoS₂靶材的关键手段之一。单层MoS₂具有直接带隙，适合光电应用，而多层MoS₂表现为间接带隙，适合电子应用。通过CVD、MBE等方法可实现精确层数控制，层数调控不仅有助于满足特定应用需求，还能为开发新型光电器件提供更多可能性。
3.2 晶相选择与相变MoS₂的晶相稳定性和相变机制对其应用性能具有深远影响。2H相具备半导体特性，适合光电子应用；1T相表现出金属特性，适用于电催化领域。通过调节外部条件（如温度和应力），可诱导2H相转为1T相，实现在应用中对MoS₂的性能优化。这种相变控制方法不仅提供了性能调控的新思路，还为MoS₂靶材的高效利用提供了新的技术路径。
3.3 缺陷与边缘效应MoS₂中的缺陷（如硫空位）和边缘效应对其性能具有显著影响。硫空位可以增加催化活性中心的数量，提升电催化性能，而边缘效应则对光电性能有重要影响。通过在制备过程中引入特定的缺陷或控制边缘形貌，可实现性能的精细调控。例如，在CVD中引入特定气氛有助于控制缺陷类型，从而优化MoS₂靶材的电催化或光电特性。
3.4 应力调控应力调控是MoS₂靶材性能调控的另一重要手段。研究表明，外加应变可以改变MoS₂的电子结构，甚至可以在一定条件下实现从半导体到半金属的转变。应力调控可以进一步提高MoS₂的柔性和稳定性，在柔性电子器件中具有巨大应用潜力。此外，应力还可以影响MoS₂的光学吸收特性，为光电探测提供了新的设计可能。
