设备一直是今年半导体行业热搜榜话题之一。我国产半导体设备发展如火如荼，近期几家设备大厂公布了最新财报，同时市场又传来新动态。例如盛美上海公布45亿元定增案，以及前段半导体制造清洗设备Ultra C Tahoe取得重要性能突破；半导体设备公司芯慧联新发布的混合键合设备打破我国该设备市场的长期空白状态；晶盛机电逐步实现8-12英寸半导体大硅片设备的国产化突破，并在功率半导体设备和先进制程设备端快速实现市场突破；中微公司和北方华创则公布了新设备专利。
国产半导体设备新动向
11月11日晚间，盛美上海发布公告称，45亿元定增申请获得上交所受理。行业多方数据显示，该定增方案是今年以来我国最大的预计募集资金行业定增方案。据悉，盛美上海本次发行股票募集资金总额不超过45亿元（含本数），扣除发行费用后，募集资金净额拟投入研发和工艺测试平台建设项目、高端半导体设备迭代研发项目、补充流动资金，分别投资约9.4亿元、22.55亿元和13亿元。
盛美上海有意不断拓宽产品线，实施半导体设备产品的平台化发展。“研发和工艺测试平台建设项目”用来配置研发测试仪器、光刻机、CMP等外购设备，结合自有设备，设立设备研发和工艺测试平台。“高端半导体设备迭代研发项目”用来购置研发设备，配置研发人员，针对公司项目进行进一步迭代开发。此外的13亿元则用来补充流动资金。
另外值得注意的是，盛美上海11月11日宣布，在前段半导体制造清洗设备Ultra C Tahoe取得重要性能突破。Ultra C Tahoe的专利混合架构率先实现将槽式清洗模块和单片晶圆清洗腔体结合到同一SPM设备中。该架构具备更强的清洗性能、更高的产能和更好的工艺灵活性。在中低温硫酸 (SPM)清洗工艺中，Ultra C Tahoe可以达到独立单片晶圆清洗设备的效果，并可减少高达75%的化学品消耗。据盛美上海估算，仅硫酸一项每年就可节省高达50万美元的成本，且在硫酸废液处理上可进一步降低成本并对环境更友好。
除了盛美上海以外，近日半导体设备公司芯慧联新发布的D2W混合键合设备、W2W混合键合设备打破了该设备国内市场的长期空白状态，实现了半导体键合设备关键技术的自主可控。芯慧联新由苏州芯慧联半导体科技有限公司通过派生分立于今年9月12日成立。
晶盛机电于11月3日表示，在半导体设备领域，公司逐步实现8-12英寸半导体大硅片设备的国产化突破，相关产品实现批量销售。另外公司在功率半导体设备和先进制程设备端快速实现市场突破，公司8英寸碳化硅外延设备和光学量测设备顺利实现销售，12英寸三轴减薄抛光机拓展至国内头部封装客户，12英寸硅减压外延生长设备实现销售出货并拓展了新客户，相关设备订单持续增长。
中微公司和北方华创近期分别公布了新专利。国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种等离子体刻蚀方法和刻蚀装置”的专利，公开号CN 118919407 A，申请日期为2023年5月。专利摘要显示，本发明提供一种等离子体刻蚀方法，在一等离子体处理腔内进行。据悉，该发明还提供一种等离子体刻蚀装置。北方华创方面，则公布了一项“工艺气体喷嘴及半导体工艺腔室”专利，申请公布号为CN118792637A。该此方案能解决相关技术在对半导体工艺腔室的内壁进行清洁时存在清洁效果较差的问题。
上游半导体设备营收成绩突出，国产替代势头强劲
随着全球经济加速复苏和新兴产业的快速发展，半导体市场迈入新阶段。从需求来看，特别是在消费电子、新能源汽车、人工智能等领域，半导体产品的需求量不断攀升，这为半导体设备企业提供了广阔的市场空间和发展机遇。从营收来看，国产半导体设备企业的营收规模持续扩大，不同的细分领域需求增长带动了企业营收。
其中，北方华创作为半导体设备行业的领军企业，其2024年前三季度实现营业收入203.53亿元，同比增长39.51%，显示出强劲的增长势头。北方华创表示，今年前三季度营收变化主要原因是公司电子工艺装备收入同比增长46.96%，使得整体营业收入增加；净利润同比大涨54.72%，其主要原因是公司电子工艺装备收入增长较快，成本费用率下降，使得归属于上市公司股东的净利润增加。
中微公司作为半导体刻蚀设备领域的代表企业，其2024年前三季度实现营业收入55.07亿元，同比增长36.27%。尽管净利润同比下降了21.27%，但第三季度净利润却大幅增长了152.63%，表明公司正在逐步克服挑战，实现业绩反转。中微公司表示，营收变化因素主要系公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产所致。此外，前三季度公司新增订单76.4亿元，同比增长约52.0%。其刻蚀设备新增订单62.5亿元，同比增长约54.7%。
盛美半导体作为半导体清洗设备领域的领先企业，其2024年前三季度实现营业收入39.77亿元，同比增长44.62%。净利润方面，公司前三季度实现净利润7.58亿元，利润率为12.72%。这一成绩体现出公司的盈利能力，也反映了其在半导体清洗设备领域的市场地位。据悉，截至三季度，盛美半导体在手订单总金额为67.65亿元，相比去年同期增长3.66%。该公司还发布最新全年业绩预告，2024年营业收入预测区间为56.00亿元至58.80亿元之间。
另外，拓荆科技营收数据走势较为平缓，不过Q2的环比却呈现大幅反弹；华海清科以CMP和研磨设备为主，今年营收走势相对平缓，整体较为稳定；集成电路专用测试设备企业长川科技前三季度归母净利润3.57亿元，同比增长26858.78%。对此，长川科技认为，业绩变动净利润大幅增长主要是本期收入增加所致。
整体而言，上述国内7家半导体设备厂商业绩整体走势非常良好，保持高速增长势头。尽管部分企业在净利润方面出现了下滑或波动，但整体来看，国产半导体设备企业的盈利能力正在逐步提升。这得益于企业对成本控制的加强、技术创新的推动以及市场策略的调整。长川科技净利润的暴增就是一个典型的例子，展示了企业在特定时期内的强劲盈利潜力。
结 语
近年来，国家高度重视半导体产业的发展，出台了一系列政策措施支持国产半导体设备的研发和生产。在政策的推动下，国产半导体设备企业不断加大研发投入，提高产品质量和技术水平，逐步实现了对进口设备的替代。随着国产半导体设备技术、工艺日趋成熟，行业竞争越来越激烈，未来，国产半导体设备企业将迎来更多的市场机会。
