在传统的芯片制造产业链中,高精度的芯片往往需要配合上高精度的光刻机才可以生产制造,毕竟光刻环节对于精度的要求是非常高的,所以为了能够实现国产化高精度芯片的制造,在2018年的时候,中芯国际就曾经向ASML公司订购过一台EUV光刻机,可是,截止到目前为止这台EUV光刻机都没有发过来。
而之所以不给中企提供EUV光刻机,ASML公司是受限于西方的相关芯片限制。
放言中企造不出顶级光刻机而面对着ASML公司的停止供货,我们只能将目标转向自主研发,毕竟,通过过往的案例来看,当西方市场不给我们提供的时候,我们都是通过自主研发来实现突破的,原子弹是这样、盾构机也是这样。
为此,在2019年的时候,中科院院长白春礼表示,将会把EUV光刻机的研发提高到最高优先级,同时国内的光刻机制造企业也在加速国产光刻机向着更高精度的高度突破。
可是,面对着国内声势浩大的光刻机突破计划,在2022年1月份的时候,ASML公司的首席执行官Peter Wennink则是放言表示,我们国内的企业不太可能独立复制顶级光刻机技术。
这话无疑是想要给我们泼凉水,以此来巩固ASML公司在高阶光刻机市场的垄断地位,不可否认,EUV光刻机的制造的确难度很大,EUV光刻机的制造包含了光源技术、光学系统、精密机械技术、高精度检测技术、自动化与控制技术。
其中的主要难点集中在光源技术和光学系统上。
其中光源方面,EUV光刻机光源需要短波长的光源,波长大约为13.5nm,所以这就需要利用高功率激光束去轰击液态锡珠,使其瞬间气化成等离子体,从而发出EUV光。并且这个过程需要高频率冲击,形成稳定光束,目前我们已经在实验室情况下获得了对应光源,但是想要进入工业应用应该还需要反复论证。
至于光学系统方面,对于我们来说的确有较大难度,因为EUV光刻机所需要的物镜比较特殊,当下全球也只有德国的蔡司有能力生产制造,正是基于这一点,Peter Wennink认为我们无法独立完成EUV光刻机的制造,因为蔡司也被限制为我们提供特制物镜。
华为的破局但是,供应链难并不会一直阻止国产EUV光刻机的发展,中科院等国内科研机构已经在寻找解决方案了,同时,伴随着2023年8月份,华为麒麟芯片的突破,就意味着哪怕没有高阶光刻机,我们依旧有办法制造高阶芯片。
另外,最近外媒方面也是传来消息表示,华为方面似乎有不用高阶光刻机就可以实现高阶芯片制造的专利技术。
虽然目前还没有得到华为方面的承认,但是,这给ASML公司很大压力,毕竟一旦,麒麟9000S芯片的确已经问世了,如果真正芯片制造方案被普及,对于ASML公司来说将是致命伤害。
另外,根据ASML公司公布的财报数据显示,2023年ASML公司在我国的营业收入高达2153亿元,所以说,华为的芯片解决方案,以及国产光刻机的发展对于ASML公司来说并不是什么好消息。
ASML公司以及荷兰态度的改变在这种背景下,如果ASML公司继续跟随西方的限制操作,那么未来几年ASML公司在我国市场的营收将会越来越低,最终,更快的推动了我们发展出自己的高阶光刻机技术。
这是ASML不愿意看到的,所以在最近西方市场有消息表示,ASML公司计划搬离荷兰,以此来寻求绕过限制,另外,就在3月27日,荷兰外贸大臣在访华时表示,荷兰将确保出口管制措施不会专门针对某一国家,并努力降低出口限制造成的影响。
这是其五年以来首次访华,之前荷兰和ASML态度和现在相比真是令人唏嘘,可以发现,每当我们的技术突破前进一步,西方就会让步一些,所以说,想要真正摆脱他们的影响,让他们低下头颅,那么加速国产技术进步是唯一的办法。
不能相信西方人的鬼话,只有自己掌握核心技术才是硬道理。